Айырыуса юғары вакуум шарттарында атомдарҙың һүрәтләнешендә ҡаты есемдәрҙең өҫкө йөҙө , ярым үткәргестәрҙең атомар-таҙа йөҙөндә металдар адсорбцияһының һәм өҫкө йөҙ реакцияларының башланғыс стадиялары , адсорбирланған плёнкаларҙа фазалар күсеүе , фуллерендар һәм нанокөпшәләр , гетероструктуралар һәм юғары рәшәткәләр , ярым үткәргес плёнкаларҙың эпитаксиаль йүнәлештә үҫеүе , квант наноструктураларының үҙ аллы ойошоу , үҫеү һәм формалашыу эффекттары тикшерелә ( Бәхтизин һ.б. ) .