Вакуумдың дәрәжәһе системала ҡалған матдә миҡдары менән билдәләнә. Вакуум тәү сиратта абсолют баҫым менән билдәләнә, ә тулы характеристикаһы температура һәм химик состав кеүек өҫтәмә параметрҙарҙы талап итә. Ҡалдыҡ газдарҙың уртаса ирекле юл оҙонлоғо (MFP) мөһим параметрҙарҙың береһе булып тора, был киҫәксәнең бер бәрелештән икенсеһенә тиклем ирекле йүгереү ваҡытында осҡан уртаса алыҫлығын күрһәтә.Газ тығыҙлығы кәмеһә, MFP арта. Атмосфера баҫымында һауала MFP бик ҡыҫҡа, яҡынса 70 нм, ә 100 мПа (~1×10−3 торр) баҫымында һауаның MFP-һы яҡынса 100 мм тәшкил итә. Һирәгәйтелгән газдың үҙенсәлектәре, ирекле йүгереү оҙонлоғо газ урынлашҡан һауыттың ҙурлығы менән сағыштырырлыҡ булғанда, ныҡ үҙгәрә.