Үтә күрһәткән ( 100 нм ҡалынлыҡтағы объекттарҙың эске төҙөлөшө һүрәтен алыу ) , растрлы Э.м. ( объекттың өҫкө йөҙө , материалдың өҫкө йөҙө эргәһендәге ҡатламдарҙың составы һәм төҙөлөшө тураһында мәғлүмәт ) һ.б. айырыла .