input
stringclasses 1
value | instruction
stringlengths 110
1.94k
| output
stringlengths 204
393
| category
stringclasses 1
value | index
stringlengths 1
5
|
---|---|---|---|---|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸部組立⑥[/WorkName]
[Words]1. にT-BELT を取付
使用治工具No.26
ドグの下側に通すこと
1.完成品
2. 1.完成品にSENSOR をBOLT WASHER WASHER で取付
使用治工具No.26
ポストの穴にセンサの突起を挿し込む[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4700 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立①[/WorkName]
[Words]1.完成品
WEDGE タップ有
■安全作業
※原点出し治具
■1. MOTOR の型式を確認し検査書にシリアル番号を記入
2. MOTOR に原点出し治具をセットし原点まで軸をまわす
3. 上記の位置でMOTOR にPULLEY をWEDGE BOLT で方向に注意し仮止め
使用治工具No.26
使用治工具No.27,28
検査表MOTOR :安全部品確認
断面A
視野A断面図
モータ配線
モータ配線の左側にBOLT のボルトの頭が来る様に組付け(逆流れとは逆です。)
1.完成品
WEDGE タップ無
BOLT で締結後ブロックゲージは取り外すこと
WWYJ-530 | 0-089[/Words]
[QualityItem]型式確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]型式が一致する事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-089[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4701 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立①[/WorkName]
[Words]1.完成品
WEDGE タップ有
■安全作業
※原点出し治具
■1. MOTOR の型式を確認し検査書にシリアル番号を記入
2. MOTOR に原点出し治具をセットし原点まで軸をまわす
3. 上記の位置でMOTOR にPULLEY をWEDGE BOLT で方向に注意し仮止め
使用治工具No.26
使用治工具No.27,28
検査表MOTOR :安全部品確認
断面A
視野A断面図
モータ配線
モータ配線の左側にBOLT のボルトの頭が来る様に組付け(逆流れとは逆です。)
1.完成品
WEDGE タップ無
BOLT で締結後ブロックゲージは取り外すこと
WWYJ-530 | 0-089[/Words]
[QualityItem]製造番号記録[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]製造番号転記[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-089[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4702 |
|
[ToolName]ハーネスボード[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther]FM-3706[/ToolOther]
[WorkName]インシュロック固定[/WorkName]
[Words]1. インシュロックで固定する
使用治工具No.26,27,28
⇒100mm
⇒150mm
⇒200mm
⇒250mm[/W | ords]
[QualityItem]結束確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]FM-3706[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示された箇所で結束されている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4703 |
|
[ToolName]原点出し治具[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther]FM-3446[/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立①[/WorkName]
[Words]1.完成品
■安全作業
※原点出し治具
■1. MOTOR の型式を確認し検査書にシリアル番号を記入
2. MOTOR に原点出し治具をセットし原点まで軸をまわす
3. 上記の位置でMOTOR にPULLEY をWEDGE BOLT で方向に注意し仮止め
使用治工具No.26
使用治工具No.27,28
検査表MOTOR :安全部品確認
断面A
1.完成品[/W | ords]
[QualityItem]原点確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]FM-3446[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]原点位置である事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4704 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立②[/WorkName]
[Words]1. PLATE に をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
1.完成品
2. 1.完成品にBOLT NUT を仮止め
使用治工具No.27,28
仮止め:SD-A044761-012にて本締め[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4705 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立③[/WorkName]
[Words]1. に をベルトを通してWASHER BOLT で仮止め
使用治工具No.26
仮止め:SD-A044761-012にて本締め
4箇所全てをWASHER 厚肉ワッシャーでプレートを挟み込む[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4706 |
|
[ToolName]原点出し治具[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther]FM-3446[/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立④[/WorkName]
[Words]2. 1.完成品にJOINT JOINT をBOLT で取付
使用治工具No.32,33
1. を検査書に従いドグの原点調整とベルトテンション調整を同時に行う
使用治工具No.26,27,28,29,30,31
1.完成品
SD-A044761-010, 011で仮止めしていたボルトを本締めすること
検査表 :モーター原点調整、ベルトテンション調整
ドグは原点センサーに対し下記寸法を目安とする。[/W | ords]
[QualityItem]原点確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]FM-3446[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]原点位置である事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4707 |
|
[ToolName]ベルト張力計[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立④[/WorkName]
[Words]2. 1.完成品にJOINT JOINT をBOLT で取付
使用治工具No.32,33
1. を検査書に従いドグの原点調整とベルトテンション調整を同時に行う
使用治工具No.26,27,28,29,30,31
1.完成品
SD-A044761-010, 011で仮止めしていたボルトを本締めすること
検査表 :モーター原点調整、ベルトテンション調整
ドグは原点センサーに対し下記寸法を目安とする。
WWYJ-530 | 0-089[/Words]
[QualityItem]ベルトテンション[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]234~267Hz[/StdVal]
[Method]ベルト張力計[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-089[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4708 |
|
[ToolName]ブロックゲージ[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]θ軸駆動部組立④[/WorkName]
[Words]2. 1.完成品にJOINT JOINT をBOLT で取付
使用治工具No.32,33
1. を検査書に従いドグの原点調整とベルトテンション調整を同時に行う
使用治工具No.26,27,28,29,30,31
1.完成品
SD-A044761-010, 011で仮止めしていたボルトを本締めすること
検査表 :モーター原点調整、ベルトテンション調整
ドグは原点センサーに対し下記寸法を目安とする。[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]寸法:3.5㎜[/StdVal]
[Method]ブロックゲージ[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4709 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立①[/WorkName]
[Words]1. CYLINDER CYLINDER にJOINT を組付け
使用治工具No.26
この作業では同じものを2個作成[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4710 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立②[/WorkName]
[Words]1. BRACKET BRACKET にSENSOR SENSOR をBOLT WASHER WASHER で組付け
使用治工具No.26
この作業ではL・R用それぞれ1個作成
L用
R用[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4711 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立③[/WorkName]
[Words]1. PLATE にSENSOR をBOLT WASHER WASHER で組付け
使用治工具No.26
2.完成品L
L用
R用
2. BRACKET BRACKET にSENSOR をBOLT WASHER WASHER で組付け
使用治工具No.26
L用
R用
この作業ではL・R用それぞれ1個作成
L用
R用
3. 2.完成品に1.完成品・SPACER をBOLT WASHER BOLT ㉒で組付け
使用治工具No.26,27
1.完成品L
2.完成品R
1.完成品R[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4712 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立④[/WorkName]
[Words]1. PLATE に STOPPER をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26,27
L用
R用
2. 1.完成品にPLATE SCREW をBOLT で組付け
使用治工具No.26,28,29
L用
R用
この作業ではL・R用それぞれ1個作成
1.完成品L
12.5㎜
1.完成品R
SCREW は仮止め:SD-A044756-025にて本締め[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4713 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]付属品準備[/WorkName]
[Words]1.下記リストで付属品を準備する
検査表RELAY :導通、型式チェック
WCYA-580 | 0-214[/Words]
[QualityItem]シリアル№確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]検査書と一致している事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WCYA-5800-214[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4714 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑤[/WorkName]
[Words]PLATE を組付け後にSTOPPER を組付け
1. に をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
L用
R用
2. 1.完成品にPLATE STOPPER をBOLT で組付け
使用治工具No.26,27
L用
R用
この作業ではL・R用それぞれ1個作成
1.完成品L
1.完成品R
PLATE を組付け後にSTOPPER を組付け[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4715 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑥[/WorkName]
[Words]押当て
1. にDOG DOG をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
L用
R用
2. 1.完成品に をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
L用
R用
この作業ではL・R用それぞれ1個作成
1.完成品L
1.完成品R
押当て
DOG ・DOG は仮止め:SD-A044756-025にて本締め[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4716 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑦[/WorkName]
[Words]1. に CABLE-SUPPORT をBOLT で組付け
使用治工具No.26
L用
R用
この作業ではL・R用それぞれ1個作成[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4717 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑧[/WorkName]
[Words]TUBE φ4黒 400mm 2本 410mm 2本 460mm 2本 510mm 2本
2. に1.でカットした配管を取付
使用治工具No.27,28
L用
R用
この作業ではL・R用それぞれ1個作成
1. TUBE を指定の長さでカット
使用治工具No.26,29
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4718 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑨[/WorkName]
[Words]2. BRACKET にPIN を圧入
使用治工具No.27,28
1. BLOCK にSCREW を組付け
使用治工具No.26
出代:3mm
3. 2.完成品にPOST をNUT で組付け[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4719 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑨[/WorkName]
[Words]2. BRACKET にPIN を圧入
使用治工具No.27,28
1. BLOCK にSCREW を組付け
使用治工具No.26
出代:3mm
3. 2.完成品にPOST をNUT で組付け[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4720 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑨[/WorkName]
[Words]2. BRACKET にPIN を圧入
使用治工具No.27,28
1. BLOCK にSCREW を組付け
使用治工具No.26
出代:3mm
3. 2.完成品にPOST をNUT で組付け[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4721 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑩[/WorkName]
[Words]17㎜
1㎜
使用治工具No.28,29
使用治工具No.27,29
13.7㎜
使用治工具No.26
1.完成品
STOPPER ・NUT は仮止め:SD-A044756-025にて本締め
それぞれにL1・L2・R1・R2を貼付け[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4722 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑩[/WorkName]
[Words]17㎜
1㎜
使用治工具No.28,29
使用治工具No.27,29
13.7㎜
使用治工具No.26
1.完成品
STOPPER ・NUT は仮止め:SD-A044756-025にて本締め
それぞれにL1・L2・R1・R2を貼付け[/Words]
| [QualityItem]貼付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4723 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑪[/WorkName]
[Words]Dピン押当て
2. 1.完成品にSPRING を組付け
1. に をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
4面共組付け
1.完成品[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4724 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]プロセスチャンバ取付準備[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26
取付け時、保護シートを剥がす
◆●2. 1の完成品にを取付け、で吊り上げる
保護具を着用して作業する事
重量物の為、二人作業
使用治工具No.27,28
内側への異物混入に注意
◆作業者安全作業
●クリーン作業
にて1の完成品を吊り上げ後、底面の傷、打痕を確認 ※微細な傷は厳重に確認
●1. にを取付ける[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付け出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]重量物二人作業[/Other] | information_extraction | 4725 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑫[/WorkName]
[Words]A-A断面図
1. に をBOLT で組付け
使用治工具No.26[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4726 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑬[/WorkName]
[Words]上面図
1. に の配管を接続しBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
配管
配管
配管
配管[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4727 |
|
[ToolName]てこ式ダイヤルゲージ[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部組立⑭[/WorkName]
[Words]1. の原点位置でのプレート平面度確認
使用治工具No.26,27
検査表 :プレート平面度確認
平面度 0.05mm以下
プレートR1
プレートL1
プレートL2
プレートR2
※精度が入らない場合は、 LMとP002の組付け部で修正 X方向(PINあて部)、Y方向(シム挿入)
WWYJ-530 | 0-089[/Words]
[QualityItem]平面度確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/半年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]0.05㎜以下[/StdVal]
[Method]てこ式ダイヤルゲージ[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-089[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4728 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部配線①[/WorkName]
[Words]1. にCABLE CABLE CABLE LABEL TERMINAL PROCESS を取付
使用治工具No.26,27
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定
インシュロック(100mm)
B11014R
検査表 :接続確認 (3)ICトレイステージ部(正流れステージ)
インシュロック(100mm)
B11024R
B11025R
合わせる
1B11010-4R
KEYENCE PR-MB30N1の配線に取付
合わせる
1B11020-4R
KEYENCE PR-MB30N1の配線に取付
WWYJ-530 | 0-115[/Words]
[QualityItem]接続確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り接続出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-115[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4729 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部配線②[/WorkName]
[Words]1. にCABLE CABLE CABLE を取付
使用治工具No.26,27
K027で取付けた配線を接続1B11010-4R , 1B11010-5R
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定
インシュロック(100mm)
B11010R
検査表 :接続確認 (3)ICトレイステージ部(正流れステージ)
B11011R
B11012R
1B11010-1R
1B11010-2R
1B11010-3R
1B11010-4R
(Dummy)
1B11010-5R
検査表 :接続確認 (4)ICトレイステージ部(正流れステージD1500)
WWYJ-5300 | -115[/Words]
[QualityItem]接続確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り接続出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-115[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4730 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]昇降部配線③[/WorkName]
[Words]1. にCABLE CABLE CABLE を取付
使用治工具No.26,27
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定
インシュロック(100mm)
B11020R
検査表 :接続確認 (3)ICトレイステージ部(正流れステージ)
B11021R
B11022R
1B11020-1R
1B11020-2R
1B11020-3R
1B11020-4R
1B11020-6R
1B11020-5R
検査表 :接続確認 (4)ICトレイステージ部(正流れステージD1500)
K027で取付けた配線を接続1B11010-4R , 1B11010-5R , 1B11010-6R
WWYJ-5300 | -115[/Words]
[QualityItem]接続確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-115[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4731 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット組立①[/WorkName]
[Words]裏側
この作業ではそれぞれ2個作成
1. BRACKET にSWITCH をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
2. 1.完成品にJOINT を組付け
使用治工具No.27
1.完成品[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4732 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット組立②[/WorkName]
[Words]R用
この作業ではL・R用を作成
1. SPEED-CONTROLLER のスピコンを調整
2. に2.完成品・BRACKET をにBRACKET をBOLT WASHER WASHER で組付け
1.完成品
スピコン:全閉から2回転開く
この作業では8個作成
L用
1.完成品
使用治工具No.26[/Words]
| [QualityItem]設定確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]全閉から2回転開く[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4733 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット組立③[/WorkName]
[Words]TUBE φ4白 100mm 1本 150mm 1本 250mm 2本
1. TUBE を指定の長さにカット
2. に1.完成品を挿入
使用治工具No.26,27
150mm
250mm
100mm
250mm[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4734 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット組立④[/WorkName]
[Words]裏側
▲1. BRACKET にSPACER SPACER をBOLT WASHER でADHESIVE ロックタイトを塗布して組付け
使用治工具No.26,27
接着剤塗布 ゴマ粒:1
▲特殊作業[/Words]
| [QualityItem]接着量[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示箇所に塗布ゴマ粒:1[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]ロックタイト243[/Other] | information_extraction | 4735 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ピン打ち[/WorkName]
[Words]1㎜
◆作業者安全作業
●クリーン作業
ピン出代:1.0㎜±0.5㎜
◆●1. にPIN を圧入する
使用治工具No.26,27,28,29
下面図[/Words]
| [QualityItem]出代確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]重量物二人作業[/Other] | information_extraction | 4736 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット組立⑤[/WorkName]
[Words]1. PLATE にBRACKET をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
1.完成品
2. 1.完成品にCABLE-SUPPORT を組付け[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4737 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]TCP認識照明部取付[/WorkName]
[Words]1. にSPACER をSCREW で組付け
使用治工具No.26,27
2. 定盤上で1.完成品に をBOLT ㉒で組付け
使用治工具No.28,29
定盤上で組付け
1.完成品[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4738 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット取付①[/WorkName]
[Words]1. に をBOLT WASHER で組付けし、トレイ上下の配管を接続
使用治工具No.26
下段Down
配管はベルトの下を通し、ベルトに接触しない事
2. の配管を に接続
A 断面図
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定
B 断面図
L1
L2
R2
R1
インシュロック(100mm)
L1
R2
R1
L2
左側面図
右側面図
下段Up
上段Down
上段Up
下段Down
下段Up
上段Down
上段Up
使用治工具No.27,28,29[/Words]
| [QualityItem]接続確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り接続出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4739 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線用ブラケット取付②[/WorkName]
[Words]1. に をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26
A 断面図[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4740 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]真空部配線[/WorkName]
[Words]1. にCABLE CABLE を接続
A 断面図
B11016R
検査表 :接続確認 (3)ICトレイステージ部(正流れステージ)
検査表 :接続確認 (4)ICトレイステージ部(正流れステージD1500)
L1
L2
R2
R1
B11017R
B11026R
B11027R
1B11010-8R
1B11010-7R
1B11020-8R
1B11020-7R
WWYJ-530 | 0-115[/Words]
[QualityItem]接続確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り接続出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-115[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4741 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]カバー組立[/WorkName]
[Words]9㎜
1. COVER にLABEL を貼付け
63㎜
22㎜
使用治工具No.26,27[/Words]
| [QualityItem]貼付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4742 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイステージXY軸部へ払い出し[/WorkName]
[Words]1. COVER COVER SCREW BOLT WASHER をICトレイステージXY軸部へ払い出し
使用治工具No.26
MTKA044756 305CG:ICトレイステージXY軸部 へ払い出し
十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2S (3価)[/Words]
| [QualityItem]払い出し[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り払い出し出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4743 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立①[/WorkName]
[Words]B面
D面
C面
B面
1. FRAME にSUPPORT NUT NUT CABLE-SUPPORT を挿入
使用治工具No.26
190㎜
15㎜
205㎜
190㎜
395㎜
挿入面は上図参照
C面
A面
B面
D面
A面
96㎜
25㎜
121㎜
41㎜
50㎜
C面
D面
190㎜
15㎜
205㎜
190㎜
395㎜
A面
96㎜
25㎜
121㎜
41㎜
50㎜
1 のB・D面対象品
ユニット上側
ユニット上側[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4744 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立②[/WorkName]
[Words]C面
C面
D面
B面
A面
D面
1. FRAME にSUPPORT NUT NUT CABLE-SUPPORT を挿入
使用治工具No.26
155㎜
240㎜
395㎜
41㎜
挿入面は上図参照
C面
A面
B面
D面
121㎜
41㎜
90㎜
B面
A面
1 のB・D面対象品
25㎜
50㎜
155㎜
240㎜
395㎜
121㎜
41㎜
90㎜
ユニット上側
ユニット上側
25㎜
50㎜[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4745 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立③[/WorkName]
[Words]D面
C面
B面
A面
1. FRAME にSUPPORT NUT NUT を挿入
使用治工具No.26
挿入面は上図参照
C面
A面
B面
D面
12㎜
21㎜
169㎜
62㎜
43㎜
231㎜
1 のA・C面対象品
ユニット手前側
21㎜
21㎜
12㎜
ユニット手前側
A面
D面
C面
B面
12㎜
21㎜
169㎜
62㎜
43㎜
231㎜
21㎜
21㎜
12㎜[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4746 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]プロセスチャンバー取付[/WorkName]
[Words]◆作業者安全作業
使用治工具No.26
◆1. に をBOLT BOLT WASHER WASHER で取付ける
赤丸のピンを黄色矢印方向に押し付けて締結のこと
ボルトは長さ2種類あるので注意のこと[/Words]
[ | QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付け出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]重量物二人作業[/Other] | information_extraction | 4747 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立④[/WorkName]
[Words]D面
C面
A面
B面
1. FRAME にSUPPORT NUT NUT CABLE-SUPPORT を挿入
使用治工具No.26
挿入面は上図参照
C面
A面
B面
D面
1 のA・C面対象品
ユニット手前側
104㎜
195㎜
173㎜
22㎜
ユニット手前側
21㎜
21㎜
D面
C面
A面
B面
104㎜
195㎜
173㎜
22㎜
21㎜
21㎜[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4748 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑤[/WorkName]
[Words]D面
C面
B面
A面
C面
B面
A面
D面
1. FRAME にSUPPORT NUT NUT を挿入
使用治工具No.26
挿入面は上図参照
C面
A面
B面
D面
21㎜
21㎜
ユニット左側
21㎜
21㎜
21㎜
21㎜
12㎜
12㎜
12㎜
12㎜
21㎜
21㎜
ユニット左側[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4749 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑥[/WorkName]
[Words]1. をBRACKET WASHER BOLT で組付け
使用治工具No.26,27
端面合わせ
C面が上
D面が上
C面が上
D面が上
WASHER の方向に注意
上向き(ボルトの頭側)
下向き (BRACKET 側)
エッジあり
丸みを帯びている
定盤上で平面に組付けの事
BRACKET は組付けの向きに注意
左外側の組付け[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4750 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑦[/WorkName]
[Words]1. をBRACKET WASHER BOLT で組付け
使用治工具No.26,27
端面合わせ
A面が上
B面が上
A面が上
B面が上
WASHER の方向に注意
上向き(ボルトの頭側)
下向き (BRACKET 側)
エッジあり
丸みを帯びている
定盤上で平面に組付けの事
BRACKET は組付けの向きに注意
右外側の組付け[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4751 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑧[/WorkName]
[Words]1. をBRACKET WASHER BOLT で組付け
使用治工具No.26,27
端面合わせ
D面が上
外面
D面が上
WASHER の方向に注意
上向き(ボルトの頭側)
下向き (BRACKET 側)
エッジあり
丸みを帯びている
定盤上で平面に組付けの事
BRACKET は組付けの向きに注意
右外側の組付け
外面
内面から見た図[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4752 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑨[/WorkName]
[Words]1. にBRACKET をWASHER BOLT WASHER で組付け
使用治工具No.26,27
WASHER の方向に注意
上向き(ボルトの頭側)
下向き (BRACKET 側)
エッジあり
丸みを帯びている
定盤上で平面に組付けの事[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4753 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑩[/WorkName]
[Words]1.完成品
▲1. COVER にBUSH をADHESIVE で接着
使用治工具No.26
A矢視図
接着剤塗布 ゴマ粒:5
2. にBRACKET をBOLT WASHER で取付し、CABLE-SUPPORT を挿入
B矢視図
使用治工具No.27
▲特殊作業
3. 2.完成品に1.完成品・COVER BRACKET をBOLT WASHER で取付
使用治工具No.27[/Words]
| [QualityItem]接着量[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示箇所に塗布ゴマ粒:5[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]ロックタイト415[/Other] | information_extraction | 4754 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]フレームキット組立⑪[/WorkName]
[Words]1.完成品
▲1. COVER にBUSH をADHESIVE で接着
使用治工具No.26
A矢視図
接着剤塗布 ゴマ粒:5
2. に1.完成品・COVER をBOLT WASHER で取付
B矢視図
使用治工具No.27
▲特殊作業[/Words]
| [QualityItem]接着量[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示箇所に塗布ゴマ粒:5[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]ロックタイト415[/Other] | information_extraction | 4755 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立①[/WorkName]
[Words]1. BLOCK BLOCK にPIN を圧入
使用治工具No.26,27
各4セット組立の事
2. 1.完成品にPOST をNUT で組付
使用治工具No.28
出代:3mm
検査表BLOCK :バネポスト出代確認
出代 9.5mm±0.5mm
9.5㎜[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4756 |
|
[ToolName]ノギス[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立①[/WorkName]
[Words]1. BLOCK BLOCK にPIN を圧入
使用治工具No.26,27
各4セット組立の事
2. 1.完成品にPOST をNUT で組付
使用治工具No.28
出代:3mm
検査表BLOCK :バネポスト出代確認
出代 9.5mm±0.5mm
9.5㎜
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]バネポスト出代:9.5㎜±0.5㎜[/StdVal]
[Method]ノギス[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4757 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]プロセスチャンバ取付②[/WorkName]
[Words]アイボルト(4個)
玉賭けロープ
リフター
プロセスチャンバー
◆作業者安全作業
◆1. のプロセスチャンバーから玉掛けロープ、アイボルトを取外し、リフターを元の場所に戻す[/Words]
| [QualityItem]取外し確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取外し出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]重量物二人作業[/Other] | information_extraction | 4758 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立②[/WorkName]
[Words]1. にBEARING をWASHER BOLT で組付け
使用治工具No.26
詳細図
各4セット組立の事
WASHER はBEARING ベアリングの下に入れる[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4759 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立③[/WorkName]
[Words]1. にDOG DOG をBOLT で組付け
使用治工具No.26
各4セット組立の事
幅の広い方がこちらになる様に取付
仮止め:SD-A044764-018にて本締め[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4760 |
|
[ToolName]ノギス[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立④[/WorkName]
[Words]1. CYLINDER にROD をNUT で組付け
使用治工具No.26,27,28
検査表CYLINDER :シリンダー組立寸法確認
供給側・収納側共に 24.5mm±0.2mm
2. 1.完成品にJOINT を組付け
使用治工具No.29
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]寸法:24.5㎜±0.2㎜以内[/StdVal]
[Method]ノギス[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4761 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑤[/WorkName]
[Words]1.完成品
1. BRACKET にSENSOR SENSOR をBOLT WASHER WASHER で組付け
使用治工具No.26
各4セット組立の事
2. 1.完成品に をBOLT WASHER で仮止め
使用治工具No.26
仮止め:SD-A044764-025・031にて本締め[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4762 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑥[/WorkName]
[Words]1. PLATE にPIN PIN を圧入
使用治工具No.26,27
ザグリ無し面
A・B矢視図
各4セット組立の事
はテーパー部を上にしてPLATE の面まで圧入
出代:3mm
こちらが上、通常の圧入とは逆です[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4763 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑦[/WorkName]
[Words]検査表LINEAR-WAY :重要部品確認
0.01㎜が通らない事
2. にLINEAR-WAY をD-PINに押し当ててBOLT で組付け
使用治工具No.26,27
1.完成品
1. LINEAR-WAY の・型式確認 しシリアルNo記録
LINEAR-WAY スライダー基準面
D-PIN押し当て
各4セット組立の事(供給L・R、収納L・R区分必要)
仮止めしていたドグのボルト
B矢視図
D-PIN当て付け確認
ブロックゲージ 0.5㎜
・型式確認 ・シリアルNo記録
D-PIN押し当て
基準側
反対側
3. 2.完成品に をスライダー基準面にD-PINを押し当ててBOLT で組付け、SPRING を取付
使用治工具No.26
D-PIN押し当て
D-PIN押し当て
A矢視図
4. 3.完成品の仮止めしていたドグをブロックゲージを挟んで水平に組付け
使用治工具No.28,29
水平に組付け
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]型式確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]型式が一致する事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4764 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑦[/WorkName]
[Words]検査表LINEAR-WAY :重要部品確認
0.01㎜が通らない事
2. にLINEAR-WAY をD-PINに押し当ててBOLT で組付け
使用治工具No.26,27
1.完成品
1. LINEAR-WAY の・型式確認 しシリアルNo記録
LINEAR-WAY スライダー基準面
D-PIN押し当て
各4セット組立の事(供給L・R、収納L・R区分必要)
仮止めしていたドグのボルト
B矢視図
D-PIN当て付け確認
ブロックゲージ 0.5㎜
・型式確認 ・シリアルNo記録
D-PIN押し当て
基準側
反対側
3. 2.完成品に をスライダー基準面にD-PINを押し当ててBOLT で組付け、SPRING を取付
使用治工具No.26
D-PIN押し当て
D-PIN押し当て
A矢視図
4. 3.完成品の仮止めしていたドグをブロックゲージを挟んで水平に組付け
使用治工具No.28,29
水平に組付け
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]製造番号記録[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]製造番号転記[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4765 |
|
[ToolName]シックネスゲージ[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑦[/WorkName]
[Words]検査表LINEAR-WAY :重要部品確認
2. にLINEAR-WAY をD-PINに押し当ててBOLT で組付け
使用治工具No.26,27
1.完成品
1. LINEAR-WAY の・型式確認 しシリアルNo記録
LINEAR-WAY スライダー基準面
D-PIN押し当て
各4セット組立の事(供給L・R、収納L・R区分必要)
仮止めしていたドグのボルト
D-PIN当て付け確認
ブロックゲージ 0.5㎜
D-PIN押し当て
3. 2.完成品に をスライダー基準面にD-PINを押し当ててBOLT で組付け、SPRING を取付
使用治工具No.26
D-PIN押し当て
4. 3.完成品の仮止めしていたドグをブロックゲージを挟んで水平に組付け
使用治工具No.28,29
水平に組付け
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]隙間確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]隙間:0.01㎜以下[/StdVal]
[Method]シックネスゲージ[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4766 |
|
[ToolName]ブロックゲージ[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑦[/WorkName]
[Words]検査表LINEAR-WAY :重要部品確認
2. にLINEAR-WAY をD-PINに押し当ててBOLT で組付け
使用治工具No.26,27
1.完成品
1. LINEAR-WAY の・型式確認 しシリアルNo記録
LINEAR-WAY スライダー基準面
D-PIN押し当て
各4セット組立の事(供給L・R、収納L・R区分必要)
仮止めしていたドグのボルト
D-PIN当て付け確認
ブロックゲージ 0.5㎜
D-PIN押し当て
3. 2.完成品に をスライダー基準面にD-PINを押し当ててBOLT で組付け、SPRING を取付
使用治工具No.26
D-PIN押し当て
4. 3.完成品の仮止めしていたドグをブロックゲージを挟んで水平に組付け
使用治工具No.28,29
水平に組付け[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]寸法:0.5㎜[/StdVal]
[Method]ブロックゲージ[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4767 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給・収納共通部組立⑧[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26
◆1. の指示部にグリースを薄く塗布
ベアリング外周にグリースを塗布
各4セット組立の事(供給L・R、収納L・R区分必要)
チャックを取付けるまでは板金と接触する
2. に をBOLT WASHER で組付け
使用治工具No.27
拡大図
◆作業者安全作業
先端ロッド外周にグリースを塗布
ベアリングに均等に接触するように組付け
グリース塗布 米粒:2[/Words]
[ | QualityItem]塗布量[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示箇所に塗布米粒:2[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]グリスLCG100[/Other] | information_extraction | 4768 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ウエハ昇降駆動部取付[/WorkName]
[Words]Oリング取付溝
◆作業者安全作業
●クリーン作業
の取付方向に注意のことプレートが前側
●1. のOリング取付溝、 の取付面とO-RING を清掃する
使用治工具No.26,27
検査表O-RING :ウエハ昇降部の取付ける
●2. にO-RING を取付ける
取付け時、異物混入に注意する事
●3. に2.完成品をBOLT WASHER で取付ける
使用治工具No.28
二人作業のこと
取付け時、異物混入に注意する事
取付時、 の先端がプロセスチャンバー部と接触しない様に注意する事
O-RING に真空グリスは塗布しない事
NGMR626-G1 | 2-001[/Words]
[QualityItem]洗浄確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り洗浄出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]NGMR626-G12-001[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4769 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給部組立①[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26,27
1. PLATE PLATE にPIN を圧入
各2セット組立の事
SCREW が後ろ側に飛び出ない様注意の事
2. 1.完成品にSCREW が後ろ側に飛び出ないようにNUT で仮止め
使用治工具No.28,29
ザグリが無い面に圧入
出代:4mm
ザグリが有る面[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4770 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給部組立②[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26
1. にSENSOR をCOLLAR SCREW で組付け
A矢視図
各2セット組立の事
検査表 :センサー組立確認
2芯のセンサーを投光側に取付 3芯のセンサーを受光側に取付 SENSOR 付属のネジは廃棄、SCREW SCREW(N002)を使用
投光側:2芯(茶,青)
受光側:3芯(茶,黒,青)
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4771 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給部組立③[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26
1. にPLATE をBOLT WASHER で組付け
各2セット組立の事
センサ組付け側とは反対に飛び出す事[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4772 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給部組立④[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26,27
1. PLATE PLATE にGUIDE GUIDE をSCREW NUT で仮止め
各2セット組立の事
面取り側が裏
仮止め:SD-A044764-024にて本締め
仮止め:SD-A044764-024にて本締め
裏面
裏面[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4773 |
|
[ToolName]ノギス[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給部組立⑤[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26,27
1.完成品
1. に をBOLT WASHER で組付け
A矢視図
各2セット組立の事(供給L・R区分必要)
仮止めのボルトを本締め
B矢視図
.・ は裏面に飛び出さない様に組付け
使用治工具No.27,28,29,30
2. 1.完成品に をBOLT で組付け
A矢視図
B矢視図
検査表 :ストッカー寸法確認
検査表 :トレイチャック調整
仮止めの調整ボルト・ナットを本締め
使用治工具No.26,27
1.完成品
1. に をBOLT WASHER で組付け
A矢視図
各2セット組立の事(供給L・R区分必要)
仮止めのボルトを本締め
B矢視図
.・ は裏面に飛び出さない様に組付け
使用治工具No.27,28,29,30
2. 1.完成品に をBOLT で組付け
A矢視図
B矢視図
検査表 :ストッカー寸法確認
検査表 :トレイチャック調整
仮止めの調整ボルト・ナットを本締め
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]101.8㎜±0.1㎜[/StdVal]
[Method]ノギス[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4774 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー供給部組立⑥[/WorkName]
[Words]受光側 B11030-1R(供給L側ユニット) B11040-1R(供給R側ユニット)
各2セット組立の事(供給L・R区分必要)
B11043R (供給R側ユニット)
B11032R(供給L側ユニット)
B11042R(供給R側ユニット)
B11033R(供給L側ユニット)
投光側 B11030-5R(供給L側ユニット) B11040-5R(供給R側ユニット)
使用治工具No.26
1. にCABLE CABLE CABLE CABLE LABEL TERMINAL PROCESS を取付
検査表 :接続確認 (7)ICトレイストッカー部(正流れ)
WWYJ-530 | 0-115[/Words]
[QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-115[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4775 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立①[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26,27
1. PLATE PLATE にPIN を圧入
各2セット組立の事
SCREW が後ろ側に飛び出ない様注意の事
2. 1.完成品にSCREW が後ろ側に飛び出ないようにNUT で仮止め
使用治工具No.28,29
ザグリが無い面に圧入
出代:4mm
ザグリが有る面[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4776 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立②[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26
1. にPLATE をBOLT WASHER で組付け
各2セット組立の事
D-PIN側に飛び出す事[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4777 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立③[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26,27
1. PLATE PLATE にGUIDE GUIDE をSCREW NUT で仮止め
各2セット組立の事
面取り側が裏
仮止め:SD-A044764-029にて本締め
仮止め:SD-A044764-029にて本締め
裏面
裏面[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4778 |
|
[ToolName]ノギス[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立④[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26,27
1. に をBOLT WASHER で組付け
A矢視図
各2セット組立の事(収納L・R区分必要)
B矢視図
.・ は裏面に飛び出さない様に組付け
使用治工具No.27,28,29,30
2. 1.完成品に をBOLT で組付け
検査表 :ストッカー寸法確認
101.8mm±0.1mm
検査表 :トレイチャック調整
101.8mm±0.1mm
仮止めのボルトを本締め
101.8㎜
C矢視図
仮止めの調整ボルト・ナットを本締め
使用治工具No.26,27
1. に をBOLT WASHER で組付け
A矢視図
各2セット組立の事(収納L・R区分必要)
B矢視図
.・ は裏面に飛び出さない様に組付け
使用治工具No.27,28,29,30
2. 1.完成品に をBOLT で組付け
検査表 :ストッカー寸法確認
101.8mm±0.1mm
検査表 :トレイチャック調整
101.8mm±0.1mm
仮止めのボルトを本締め
101.8㎜
C矢視図
仮止めの調整ボルト・ナットを本締め
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]1回/年[/ToolCycle]
[ToolRecord]校正成績書[/ToolRecord]
[StdVal]101.8㎜±0.1㎜[/StdVal]
[Method]ノギス[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4779 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]配線固定4[/WorkName]
[Words]1. 配線をインシュロックで固定する
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定
マーキング位置で固定
インシュロック(100mm)
電源線
配管
CP出力線
信号線
1B1356R
2. CABLE を接続する
検査表CABLE :3.接続確認
使用治工具No.26,27,28
WEMA-G00 | 2-D06[/Words]
[QualityItem]接続確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り接続できている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WEMA-G002-D06[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4780 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ウエハ昇降駆動部取付[/WorkName]
[Words]Oリング取付溝
◆作業者安全作業
●クリーン作業
の取付方向に注意のことプレートが前側
●1. のOリング取付溝、 の取付面とO-RING を清掃する
使用治工具No.26,27
検査表O-RING :ウエハ昇降部の取付ける
●2. にO-RING を取付ける
取付け時、異物混入に注意する事
●3. に2.完成品をBOLT WASHER で取付ける
使用治工具No.28
二人作業のこと
取付け時、異物混入に注意する事
取付時、 の先端がプロセスチャンバー部と接触しない様に注意する事
O-RING に真空グリスは塗布しない事
NGMR626-G1 | 2-001[/Words]
[QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付け出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]NGMR626-G12-001[/RecordMethod]
[Other]重量物二人作業[/Other] | information_extraction | 4781 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立⑤[/WorkName]
[Words]使用治工具No.26
A矢視図
各2セット組立の事
1.完成品
BRACKET 2芯のセンサーを投光側に取付 PLATE 3芯のセンサーを受光側に取付 SENSOR 付属のネジは廃棄、SCREW SCREW(N002)を使用
投光側:2芯(茶,青)
受光側:3芯(茶,黒,青)
使用治工具No.27,28,29
2. 1.完成品にSENSOR をSCREW COLLAR で組付け
検査表BRACKET :センサー組立確認
1. BRACKET にPLATE をBOLT WASHER で組付け
インシュロック指示
・ケーブル同士を固定
・タイマウントに固定 又は板金に固定
インシュロック(100mm)
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4782 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立⑥[/WorkName]
[Words]受光側 B11030-2R(収納L側ユニット) B11040-2R(収納R側ユニット)
使用治工具No.27
2. 1.完成品にCABLE CABLE CABLE CABLE LABEL TERMINAL PROCESS を取付
各2セット組立の事(収納L・R区分必要)
B11046R (収納R側ユニット)
検査表 :接続確認 (7)ICトレイストッカー部(正流れ)
B11035R(収納L側ユニット)
B11045R(収納R側ユニット)
B11036R(収納L側ユニット)
投光側 B11030-8R(収納L側ユニット) B11040-8R(収納R側ユニット)
使用治工具No.26
1. に をBOLT WASHER で取付
WWYJ-530 | 0-115[/Words]
[QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-115[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4783 |
|
[ToolName]PHチェッカー[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther]FM-2375[/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立⑦[/WorkName]
[Words]ベアリングに左右均等に接触する様に調整し増し締め
各2セット組立の事(供給・収納L・R区分必要)
使用治工具No.28
使用治工具No.26
検査表 :チャック動作確認 (供給側/収納側)
使用治工具No.27,28,29
センサが指示通り反応しない場合はドグを調整してください
| WWYJ-5300-090[/Words]
[QualityItem]動作確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]FM-2375[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]正常な事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4784 |
|
[ToolName]エアー供給治具[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther]FM-2823[/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカー収納部組立⑦[/WorkName]
[Words]ベアリングに左右均等に接触する様に調整し増し締め
各2セット組立の事(供給・収納L・R区分必要)
使用治工具No.28
使用治工具No.26
検査表 :チャック動作確認 (供給側/収納側)
使用治工具No.27,28,29
センサが指示通り反応しない場合はドグを調整してください
ベアリングに左右均等に接触する様に調整し増し締め
各2セット組立の事(供給・収納L・R区分必要)
使用治工具No.28
使用治工具No.26
検査表 :チャック動作確認 (供給側/収納側)
使用治工具No.27,28,29
センサが指示通り反応しない場合はドグを調整してください
|
WWYJ-5300-090[/Words]
[QualityItem]動作確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]FM-2823[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]正常な事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4785 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立①[/WorkName]
[Words]1.完成品
2. 1.完成品にJOINT を取付
各2セット組立の事
型式表示が見える様に組付け
使用治工具No.26,27
1. BRACKET にVALVE をBOLT WASHER WASHER で組付け
全開から10回転閉じて固定[/Words]
| [QualityItem]設定確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]全開から10回転閉じて固定[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4786 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立②[/WorkName]
[Words]1.完成品
2. 1.完成品にBRACKET を組付け
ロッド先端のナットは1個不要の為廃棄
使用治工具No.26
1. CYLINDER にSPEED-CONTROLLER を組付け
全閉から3回転開いて固定
ボルト締結側がこちら側
使用治工具No.27
CYLINDER 付属ナットで固定
3. 2.完成品にBRACKET をNUT BOLT WASHER で組付け
使用治工具No.28,29
2.完成品[/Words]
| [QualityItem]設定確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]全閉から8回転開いて固定[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4787 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立③[/WorkName]
[Words]ロッドを最大限伸ばした状態で148mmになる様に付属ナットで固定
1.完成品
3..1.完成品にFLOATING-JOINT を組付け
板金の外側からナットの継ぎ目迄
使用治工具No.26,27
2. にSWITCH をBOLT WASHER WASHER で組付けし、LABEL TERMINAL PROCESS を取付
使用治工具No.28,29
蓋を外して付け替える
S313
S313R
148㎜
■安全作業
■1. SWITCH の型式を確認し、シリアルNo.を記録
検査表 :安全部品確認
・型式確認・シリアルNo記録
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]型式確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]型式が一致する事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4788 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立③[/WorkName]
[Words]ロッドを最大限伸ばした状態で148mmになる様に付属ナットで固定
1.完成品
3..1.完成品にFLOATING-JOINT を組付け
板金の外側からナットの継ぎ目迄
使用治工具No.26,27
2. にSWITCH をBOLT WASHER WASHER で組付けし、LABEL TERMINAL PROCESS を取付
使用治工具No.28,29
蓋を外して付け替える
S313
S313R
148㎜
■安全作業
■1. SWITCH の型式を確認し、シリアルNo.を記録
検査表 :安全部品確認
・型式確認・シリアルNo記録
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]製造番号記録[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]製造番号転記[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4789 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立③[/WorkName]
[Words]1.完成品
3..1.完成品にFLOATING-JOINT を組付け
使用治工具No.26,27
2. にSWITCH をBOLT WASHER WASHER で組付けし、LABEL TERMINAL PROCESS を取付
使用治工具No.28,29
■1. SWITCH の型式を確認し、シリアルNo.を記録
検査表 :安全部品確認[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4790 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立④[/WorkName]
[Words]曲げが上向きになる様に組付け
裏面
仮止め:SD-A044764-041にて本締め
使用治工具No.26
2. BRACKET にKEY をBOLT WASHER NUT-PLATE で組付け
■安全作業
■1. KEY の型式を確認
検査表BRACKET :安全部品確認
・型式確認
WWYJ-530 | 0-090[/Words]
[QualityItem]型式確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]型式が一致する事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]WWYJ-5300-090[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4791 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]印加ロッド部組立[/WorkName]
[Words]短い
長い
Dカット面を合わす
1. に を取付ける[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付け出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4792 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑤[/WorkName]
[Words]1.完成品
裏面
圧入箇所にテーパーが有る面
出代:4mm
使用治工具No.26,27
1. PLATE にPIN を圧入
2. 1.完成品にCABLE-SUPPORT を取付[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4793 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑥[/WorkName]
[Words]2セット組立の事
D-PINが出ている面
出代:16mm
使用治工具No.26,27
1. BRACKET にPIN を圧入
2. に1.完成品・BRACKET をBOLT WASHER で仮止め
使用治工具No.28,29[/Words]
| [QualityItem]PIN出代[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4794 |
|
[ToolName]ブロックゲージ[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑦[/WorkName]
[Words]左右共に、ブロックゲージを挟んで、当てブロック等で端面と平行になる様に組付け
69㎜
使用治工具No.26,27,28,29,30
1. BASE にLABEL を指定の寸法で貼付け後、SLIDE-PACK をBOLT で組付けし、CABLE-SUPPORT を挿入
10㎜
298.25㎜
31㎜
31㎜
31㎜
31㎜[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]0.5㎜[/StdVal]
[Method]ブロックゲージ[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4795 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑦[/WorkName]
[Words]左右共に、ブロックゲージを挟んで、当てブロック等で端面と平行になる様に組付け
69㎜
使用治工具No.26,27,28,29,30
1. BASE にLABEL を指定の寸法で貼付け後、SLIDE-PACK をBOLT で組付けし、CABLE-SUPPORT を挿入
10㎜
298.25㎜
31㎜
31㎜
31㎜
31㎜[/Words]
| [QualityItem]貼付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4796 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑧[/WorkName]
[Words]拡大図
使用治工具No.26
1. にMANIFOLD をBOLT WASHER BOLT WASHER で組付け
使用治工具No.27,28
2. TUBE を指定の長さでカット
3. 2でカットした配管を1.完成品に挿入
使用治工具No.29[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4797 |
|
[ToolName]スケール[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑨[/WorkName]
[Words]A503のシャフトがスムースに摺動するように組付け
拡大図
A503付属ナット
使用治工具No.26,27,28,29,30
1. に をBOLT BOLT WASHER で組付け
20㎜
使用治工具No.31
2. 1.完成品のキーを治具で調整しボルトを増し締め[/Words]
| [QualityItem]寸法確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]校正対象外[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示寸法各±0.5㎜[/StdVal]
[Method]スケール[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4798 |
|
[ToolName]-[/ToolName]
[Size][/Size]
[ToolOther][/ToolOther]
[WorkName]ICトレイストッカースタンド部組立⑩[/WorkName]
[Words]切り欠きの組付け方向に注意
裏面
拡大図
使用治工具No.26
1. にBRACKET をBOLT WASHER で組付け
1.完成品
使用治工具No.26,27
2. 1.完成品の裏面にSHUTTER をBOLT BOLT WASHER で組付け[/Words]
| [QualityItem]取付確認[/QualityItem]
[ToolManageNo]-[/ToolManageNo]
[ToolCycle]-[/ToolCycle]
[ToolRecord]-[/ToolRecord]
[StdVal]指示通り取付出来ている事[/StdVal]
[Method]目視[/Method]
[RecordMethod]-[/RecordMethod]
[Other]-[/Other] | information_extraction | 4799 |
Subsets and Splits
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