<s>[INST]10 Pa kısmi vakumda görünür kılan şey neydi?[/INST]1654 yılında, Otto von Guericke ilk vakum pompasını icat etti ve ünlü Magdeburg yarım küre deneyini gerçekleştirdi; at ekiplerinin havanın kısmen boşaltıldığı iki yarım küreyi ayıramadığını gösterdi. Robert Boyle, Guericke'in tasarımını geliştirdi ve Robert Hooke'nin yardımıyla vakum pompası teknolojisini geliştirdi. Bundan sonra, kısmi vakumla ilgili araştırma, Ağustos'ta Toepler'ın Toepler Pompasını icat ettiği ve Heinrich Geissler'in civa deplasmanlı pompayı icat ettiği ve 1855'de yaklaşık 10 Pa'lık (0.1 Torr) bir kısmi vakum elde ettiği zaman 1850'ye kadar sürdü. Bir dizi elektriksel özellik bu araştırma düzeyinde gözlemlenebilir hale geldi ve bu da daha fazla araştırmaya olan ilgiyi artırdı.</s>