<s>[INST]Magdeburg deneyini kim yaptı?[/INST]1654 yılında, Otto von Guericke ilk vakum pompasını icat etti ve ünlü Magdeburg yarım küre deneyini gerçekleştirdi; at ekiplerinin havanın kısmen boşaltıldığı iki yarım küreyi ayıramadığını gösterdi. Robert Boyle, Guericke'in tasarımını geliştirdi ve Robert Hooke'nin yardımıyla vakum pompası teknolojisini geliştirdi. Bundan sonra, kısmi vakumla ilgili araştırma, Ağustos'ta Toepler'ın Toepler Pompasını icat ettiği ve Heinrich Geissler'in civa deplasmanlı pompayı icat ettiği ve 1855'de yaklaşık 10 Pa'lık (0.1 Torr) bir kısmi vakum elde ettiği zaman 1850'ye kadar sürdü. Daha fazla araştırmaya olan ilgiyi tazeleyen bu vakum seviyesinde bir dizi elektriksel özellik gözlemlenebilir hale gelir.</s>