<s>[INST]Civa deplasmanlı pompanın yarattığı vakum neydi?[/INST]1654 yılında, Otto von Guericke ilk vakum pompasını icat etti ve ünlü Magdeburg yarım küre deneyini gerçekleştirdi; at ekiplerinin havanın kısmen boşaltıldığı iki yarım küreyi ayıramadığını gösterdi. Robert Boyle, Guericke'in tasarımını geliştirdi ve Robert Hooke'nin yardımıyla vakum pompası teknolojisini geliştirdi. Bundan sonra, kısmi vakumla ilgili araştırma, Ağustos'ta Toepler'ın Toepler Pompasını icat ettiği ve Heinrich Geissler'in cıvalama deplasmanlı pompasını icat ettiği ve yaklaşık 10 Pa'lık (0.1 Torr) 'lik bir kısmi vakum elde ettiği zaman 1850'ye kadar sürdü. Bu araştırma düzeyinde, daha fazla araştırmaya olan ilgiyi tazeleyen bir takım elektriksel özellikler gözlemlenebilir hale gelir.</s>