<s>[INST]Toepler Pump hangi yıl icat edildi?[/INST]1654 yılında, Otto von Guericke ilk vakum pompasını icat etti ve ünlü Magdeburg yarım küre deneyini gerçekleştirdi; at ekiplerinin havanın kısmen boşaltıldığı iki yarım küreyi ayıramadığını gösterdi. Robert Boyle, Guericke'in tasarımını geliştirdi ve Robert Hooke'nin yardımıyla vakum pompası teknolojisini geliştirdi. Daha sonra, kısmi vakum araştırmaları, Ağustos Toepler Toepler Pompasını icat ettiğinde 1850 ye kadar sürdü ve Heinrich Geissler, civa deplasman pompasını 1855'te icat etti ve yaklaşık 10 Pa'lık (0.1 Torr) kısmi bir vakum elde etti. Daha fazla araştırmaya olan ilgiyi tazeleyen bu vakum seviyesinde bir dizi elektriksel özellik gözlemlenebilir hale gelir.</s>