<s>[INST]Kritik boyut ve derinlik ile birlikte, kızılötesi ışık yansıması yüksek en / boy oranındaki hendek yapılarını belirlemek için ne kullanılabilir?[/INST]Yarı iletken endüstrisinde, ince filmler ve periyodik hendek yapıları gibi malzemeleri karakterize etmek için kızılötesi ışık kullanılabilir. Işığın yarı iletken bir gofret yüzeyinden yansımasını ölçerek, kırılma endeksi (n) ve sönme Katsayısı (k), Forouhi-Bloomer dağılım denklemleriyle belirlenebilir. Kızılötesi ışığın yansıması, yüksek boyut oranlı hendek yapılarının kritik boyutunu, derinliğini ve yan duvar açısını belirlemek için de kullanılabilir.</s>