MEMS,초음파,초음파 영상,초음파 프로브의 유연성 어레이
즉, 도 5의 가장 하부 도면에 도시된 것처럼, 유연성 물질(140)의 하면과 실리콘(110)의 하단면이 동일한 면을 갖도록 실리콘(110)의 하단 부분을 제거할 수 있으며, 이를 통해 유연성 물질(140)만 그 사이에 존재하기 때문에 유연성 물질(140)을 기준으로 양측이 유연하게 움직일 수 있다.