MEMS,초음파,초음파 영상,초음파 프로브의 유연성 어레이
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브의 유연성 어레이(100)의 제조 방법은, 실리콘(110)의 일면(도 3 기준으로는 상면)에 압전 물질(121)을 부착하는 압전 물질 부착 단계(S100)와, 압전 물질(121)의 중앙 부분을 절취한 후 절취된 압전 물질(121)의 상부에 포토레지스트를 형성하는 포토레지스트 단계(S200)와, 포토레지스트에 의해 음각으로 형성된 압전 물질(121)의 사이 부분 및 실리콘(110)에 형성된 함몰 부분에 유연성 물질(140)을 충진하는 유연성 부여 단계(S300)와, 압전 물질(121)의 상부에 있는 포토레지스트 물질의 일부를 제거하고 절취된 압전 물질(121) 사이를 브릿지 메탈(150, bridge metal)로 연결하는 메탈 연결 단계(S400)와, 압전 물질(121)의 하단면의 적어도 일부분이 노출되도록 실리콘(110)을 제거.