laser ablation,니들,needle
다음으로 도 1에 도시되지는 않았으나, 종래의 방법으로 제작된 침습형 전극이 외부 장치와 전기적으로 연결될 수 있도록 유리 절연체가 존재하는 실리콘 웨이퍼의 일면에 알루미늄 층을 Ebeam evapratr를 통해 쌓고, 그 층을 포토리소그래피(Phtlithgraphy)를 통해 패터닝하여 통전 가능한 침습형 전극을 제작한다.