피고,특허법,비교대상발명,특허법원
그러나 프라즈마 처리에서 반응성 가스인 산소와 불활성 가스인 아르곤의 혼합가스를 도입하는 것이 주지관용기술에 해당하는지에 관하여, 을 제5 내지 8호증의 각 기재만으로는 이를 인정하기에 부족하고, 달리 이를 인정할 만한 증거가 없으며[위 부족증거들에 의하여는, 성막 프로세스에서 불활성 가스와 반응성 가스를 사용하는 것, 작동가스로 사용되는 불활성 가스의 원자가 타깃(target)에 부딪치면서 타깃 물질이 튀어나와 기판에 코팅되는 스퍼터링의 작용원리, 그리고 반응 프로세스에서 반응성 가스가 기판에 코팅된 물질과 반응하는 것은 일반적으로 알려진 기술이라는 사실을 인정할 수 있을 뿐이고, 나아가, 구성 3에서와 같이 성막 프로세스존을 통과한 기판에 반응성 가스 활성종을 작용시키기 위한 반응프로세스존에 반응성 가스 이외에 불활성 가스를 함께 도입하는 기술과, 이에 의해 반응프로세스존에 반응성 가스.