유전체,과산화수소,치아
상기 가스도입관(110)은 하측으로 유동하면서 비활성가스의 유속이 증가하도록 하부가 상부보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직한데, 이 실시예에서 상기 가스도입관(110)은 상기 서포트부재(200)에 고정되는 상부 가스도입관(112)과, 상기 상부 가스도입관(112)보다 작은 내경을 갖도록 되어 상기 상부 가스도입관(112)의 하단부에 연결되는 하부 가스도입관(111)으로 구성된다.