플라즈마 공급 장치,유전체,중첩,피부,체부
따라서, 밀폐 부재(300)에 의해 외부로부터 밀폐되어 있으므로, 사이 공간(30)은 제 1 유동 형성부(401)가 형성한 유동에 의해 플라즈마 발생부(200)에 의해 제 1 공간(111)에 형성된 플라즈마는 사이 공간(30)으로 유입되고, 사이 공간(30)에 유입된 플라즈마는 제 2 공간(112)을 통해 외부로 배출된다.