맥박수,비저,맥박,스트레인 게이지,피부 변화
상기 센서부(30)는 도 4에 도시된 일실시예와 같이, 상기 절연층(20) 위에 어레이(array) 구조로 설치하는 것이 가능하며, 저항체(diaphragm)로서, 단결정 실리콘 박막을 적용하는 것이 가장 바람직하며, 상기 전극부(40)는 도 4에 도시된 일실시예와 같이, 상기 센서부(30) 상면부 일면에 설치하는 것이 가능하다.