유전체,멸균,접지전극
상기 플라즈마 생성모듈(140)은 유전체장벽 방전을 발생시켜 플라즈마를 생성하는 장치로서, 상기 개구공(111)을 커버하는 형태로 하우징(110)에 장착되는 강화유리 유전체(141) 및, 상기 수용공간 내에서 강화유리 유전체(141)의 일측면에 밀착 배치되는 전극(142)을 포함하며, 상기 고전압 출력모듈(130)의 고전압 AC전원을 전달받아 유전체장벽 방전이 발생하도록 한다.