laser ablation,니들,needle
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 침습형 전극 제작방법은 (A) 실리콘 웨이퍼를 준비하는 단계, (B) 제1 그루브를 형성하는 단계, (C) 상기 (B)단계에서 형성된 그루브에 수직한 제2 그루부를 형성하는 단계, (D) 유리 가루를 그루부에 충진한 후 가열하는 단계 및 (E) 침습형 전극(micrelectrde 또는 micr needle)을 형성하는 단계를 포함한다.