초음파,임플란트,절개
도 1은 본발명 진공증착장치 배치도, 도 2는 본발명의 Sputter mdule, Linear in surce가 설치된 진공증착장치 내부개략도, 도 3은 본발명의 Sputte rmdule, Linear in surce가 설치된 진공증착장치 절개개략도, 도 4는 본발명의 Sputter mdule, Linear in surce가 설치된 진공증착장치 분해개략도, 도 5는 본발명의 Sputter mdule, Linear in surce가 설치된 진공증착장치 평면개략도, 도 6은 도 5의 부분확대도이다.