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냉각장치(34)는 펠티어 소자(32)의 발열부(44)에 접촉되게 배치되고 냉각수가 채워지는 냉각수 챔버(50)와, 냉각수 챔버(50)의 개방된 상면에 밀봉 가능하게 덮어주는 밀봉 덮개(52)와, 밀봉 덮개(52)에 장착되어 냉각수 챔버(50)로 냉각수를 공급하는 공급 파이프(54)와, 밀봉 덮개(52)에 장착되어 냉각수 챔버(50)에서 냉각수가 배출되는 배출 파이프(56)를 포함한다.