검지,초음파,초음파 검사,초음파 스캔
또한 본 발명의 방법은 펄스 레이저로 여기시켜 발생된 초음파가 물체를 전파한 후 레이저 간섭계로 감지하여 물체의 두께나 결함 등의 상태를 검사하는 방법에 있어서, 상기의 장치를 구비한 후 연속발진 레이저를 물체의 표면에 조사한 후 반사되는 레이저빔을 공초점 간섭계에 입사시키는 단계와 상기한 펄스 레이저에 의해 생긴 초음파 신호가 물체표면에 미소 변위를 일으키면 상기한 간섭계에 입사되는 연속발진 레이저빔에 도플러 주파수 이동이 생겨 공초점 간섭계의 투과율을 변화시켜 간섭계를 투과하는 빔의 세기가 주파수 이동과 거의 비례하여 변조되는 것을 측정하여 초음파 신호를 측정하는 간섭계 측정 단계와 상기 간섭계 측정 단계에서 공초점 간섭계의 거울 사이의 거리를 미세조정하는 PZT 드라이버에서 일정한 주기로 삼각파 신호를 간섭계에 인가함으로써 간섭계를 투과하는 연속발진 레이저빔의 세기를 일정한 주기로 변.