암세포,주사기,중합효소 연쇄반응
다음은 UV를 조사하는 단계로서, UV가 확산 및 분산되어 포토레지스트가 광중합될 때 UV의 확산에 의해서 광중합되는 부분과 직진에 의해서 광중합되는 부분이 동시에 발생하고, UV의 확산에 의해서 광중합되는 부분은 포토레지스트의 표면에 불과하고, UV의 직진에 의해서 광중합되는 부분은 포토레지스트의 하부까지이므로, 본 발명에 따른 패턴을 형성할 수 있게 된다.