임플란트,바이오 센서,절개
본 발명의 일 실시예에서 상기 트랜지스터 방식의 바이오 센서(단위 바이오 센서)는 실리콘 등과 같은 기판에 소정 농도(제 1 농도)로 불순물일 도핑된 소스 및 드레인 영역과 상기 소스 및 드레인 영역 사이의 상기 제 1 농도보다 낮은 농도로 불순물이 도핑된 실리콘 영역(게이트 채널)을 포함하며, 상기 소스 및 드레인 영역 상부에는 소스 및 드레인 전극이, 상기 게이트 채널에는 바이오 검출물질이 고정된 형태를 이룬다.