노화,발진,초음파
진동날조립체(23)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 길이가 긴 직사각형 형상으로 상부 및 하부하우징(21,22) 사이의 공간에 배치되는 판상체로 된 한 쌍의 본체부(24)와, 일부분이 본체부(24)에 용접되는 한편 본체부(24)로부터 노출된 영역의 선단(25a)이 소정 각도 절곡되어 캡(28)을 통해 상부 및 하부하우징(21,22)의 외측으로 노출되는 진동날부(25)와, 본체부(24)의 양측면에 각각 이격배치되어 본체부(24)를 포함하여 진동날부(25)를 일체로 진동시키는 복수의 압전세라믹소자(26)를 갖는다.