MICROTECH'in LaserWriter sistemi, 0.6 µm'ye kadar maksimum çözünürlüklerin gerekli olduğu uygulamalarda düzlemsel geometrilerin tanımlanması ve yüzey teşhisi için tasarlanmıştır. Sistem, bir lazer ışınını fotolitografik maske üretimi için veya düzlemsel yüzeyler üzerinde doğrudan yerinde işleme için kontrollü bir yazma aracına dönüştürür. Mikrolitografik uygulamaların yanı sıra, optik aparatı ve alt tabaka hareket yönetimi de yüzey denetimi veya teşhis için çok uygundur. Dolayısıyla, aynı makine önce bir model üretmek için ve daha sonra sonuçları incelemek için kullanılabilir. Desenler, hedefin (maske veya substrat) odaklanmış ve tarama lazer ışınının altında uygun dalga boyuyla doğru bir şekilde hareket ettirilmesiyle oluşturulur. Sistemin performansı ve maliyeti, araştırma ve geliştirme veya küçük / orta ölçekli üretimler için optimize edilmiştir.