本研究では、SDBウエハー波を利用してSOI構造を有するせん断応力型圧電抵抗を、TMAH溶液を利用してシリコンウエハー裏面をエッチングして形成させたダイアフラム構造上にドーピングを通じて形成し、製造された圧電抵抗の形状条件による圧力の感度特性について研究した。
본 연구에서는 SDB 웨이퍼를 이용하여 SOI 구조를 갖는 전단 응력형압전저항을 TMAH용액을 이용해 실리콘 웨이퍼후면을 에칭해 형성시킨 다이아프램구조상에 도핑을 통해 형성하였고 제조된 압전저항의 형상조건에 따른 압력의 감도특성에 대해 연구하였다.