An optical reticle inspection tool is used during an inspection to obtain, for each local area, an average of multiple reflected intensity values corresponding to light reflected from a plurality of sub-areas of each local area of the reticle. The optical reticle inspection tool is also used during the inspection to obtain, for each local area, an average of multiple transmitted intensity values corresponding to light transmitted through the sub-areas of each local area of the reticle. A combined intensity map is generated by combining, for each local area, the average of multiple reflected intensity values and the average of multiple transmitted intensity values such that a reticle pattern of the reticle is cancelled from the combined intensity map if the reticle has not degraded and such that the reticle pattern of the reticle is not cancelled out of the combined intensity map if the reticle has degraded.
광학 레티클 검사 도구는 각각의 로컬 영역에 대해, 레티클의 각각의 로컬 영역의 복수의 서브영역으로부터 반사된 광에 대응하는 다수의 반사된 강도값의 평균을 얻기 위해 검사 동안에 사용된다. 광학 레티클 검사 도구는 또한 각각의 로컬 영역에 대해, 레티클의 각각의 로컬 영역의 서브영역을 통해 투과된 광에 대응하는 다수의 투과된 강도값의 평균을 얻기 위해 검사 동안에 또한 사용된다. 조합된 강도 맵은 각각의 로컬 영역에 대해, 레티클이 열화되지 않았으면 레티클의 레티클 패턴이 조합된 강도 맵으로부터 상쇄되도록 그리고 레티클이 열화되었으면 레티클의 레티클 패턴이 조합된 강도 맵으로부터 상쇄되지 않도록 다수의 반사된 강도값의 평균과 다수의 투과된 강도값의 평균을 조합함으로써 발생된다.