Além destes, são considerados parte da microeletrônica os MEMS (do inglês "MicroElectroMechanical Systems", Sistemas microeletricomecânicos).
ɐlˈeɪŋ dˈeʃtɨʃ, sɐ̃ʊ̃ kˌuŋsidɨɾˈadʊʃ pˈaɾətɨ dɐ mˌikɹuˌelɨtɹˈonikɐ uʒ mˈeɪŋʃ dʊ iŋɡlˈeʃ "mˈikɹw ˌelˈɛtɹʊ mˌɛʃɐnikˈɑl sˈiʃteɪŋʃ", sˌiʃtˈemɐʒ mˌikɹuˌelɨtɹˌikumɨkˈɐ̃nikʊʃ.