Da der Tunnelstrom sehr stark vom Abstand abhängt, ist die laterale Auflösung viel feiner als der Radius der Spitze, manchmal atomar.
dɑː dɛɾ tˌʊnəlstɾˈoːm zˈeːɾ ʃtˈaɾk fɔm ˈapʃtˌant ˈaphˌɛŋt, ɪst diː lˌɑteːrˈɑːlə ˈaʊflˌøːzʊŋ fˈiːl fˈaɪnɜ als dɛɾ rˈɑdiːˌʊs dɛɾ ʃpˈɪtsə, mˈançmɑːl atˈoːmɑːɾ.