Seit Anfang der 2000er Jahre wird Aluminium jedoch zunehmend durch Kupfer als Leiterbahnmaterial ersetzt, auch wenn dafür aufwendigere Strukturierungsverfahren (vgl. Damascene- und Dual-Damascene-Prozess) und Diffusionsbarrieren notwendig sind.
zaɪt ˈanfˌaŋ dɛɾ tsvˈaɪ tˈaʊzənt ɜ jˈɑːrə vˌɪɾt ˌɑluːmˈiːniːˌʊm jˈeːdɔx tsuːnˈeːmənt d??ç kˈʊpfɜ als lˈaɪtɛɾbˌɑːnmatˌeːriːˌɑːl ɛɾzˈɛtst, ˌaʊx vˌɛn dɑːfˈyːɾ ˈaʊfvˌɛndɪɡərə ʃtɾˌʊktuːrˈiːrʊŋsfɛɾfˌɑːrən fˌaʊɡˌeːˈɛl. dˈɑmaskənə ʊnt duːˈɑːldˈɑmaskənəpɾoːtsˈɛs ʊnt dˌɪfuːzˌɪoːnsbˌarɪˈeːrən nˈoːtvɛndˌɪç zɪnt.