Die latinisierte Form „Atheismus“ findet sich erstmals bei Cicero, seit Ende des 16. Jahrhunderts erscheint sie im deutschen Schrifttum (frühneuhochdeutsch Atheisterey) und sie gilt seit Beginn des 18. Jahrhunderts als eingedeutscht.
diː lˌɑtiːniːzˈiːɾtə fˈɔɾm ˈataɪsmˌʊs“ fˈɪndət zɪç ˈeːɾstmɑːls baɪ kiːkˈeːroː, zaɪt ˈɛndə dɛs zˈɛçtseːn. jɑːɾhˈʊndɜts ɛɾʃˈaɪnt ziː ɪm dˈɔøtʃən ʃrˈɪftuːm frˈyːnɔøhˌoːxdɔøtʃ ˈataɪstˌeːraɪ ʊnt ziː ɡˈɪlt zaɪt bəɡˈɪn dɛs ˈaxtseːn. jɑːɾhˈʊndɜts als ˈaɪnɡədˌɔøtʃt.