Patterning by etching at the nanoscale
நானோ அளவுகோலில் பொறித்தல் (PENs) மூலம் வடிவமைப்பு என்பது ஒரு மென்மையான லித்தோகிராஃபிக் நுட்பமாகும், இதில் பாலிடைமெத்தில்சிலாக்சேன் (PDMS) மேட்ரிக்ஸில் உள்ள பிணைப்புகள் பி. டி. எம். எஸ் (அதாவது. கரைத்தல்) ஒரு மேற்பரப்பில் பயன்படுத்தப்படும் வடிவமைப்பு கொண்ட பி. டி. எம். எஸ் முத்திரையுடன் உருவாக்கப்பட்ட பி. டி. எம். எஸ் சேனலின் வெளிப்புறத்தில் மெதுவான விகிதத்தில். முத்திரையில் உள்ள கால்வாயை பல்லாயிரக்கணக்கான நானோமீட்டர்கள் முதல் பல மைக்ரோமீட்டர்கள் வரை விரிவுபடுத்தலாம். எதிர்வினையாற்றக்கூடிய ஒரு மேற்பரப்பின் புதிய பகுதியை வெளிப்படுத்துதல். சுருக்கமாக பி. டி. எம். எஸ் சிலிக்கான்-ஆக்ஸிஜன் பிணைப்புகளின் பாலிமர் சங்கிலிகளைக் கொண்டுள்ளது, இந்த பிணைப்புகளை ஃவுளூரைடு கொண்ட இனங்களால் உடைக்க முடியும், அதே வழியில் சிலிக்கான் செதில்கள் ஹைட்ரோஃப்ளோரிக் அமிலம், அம்மோனியம் ஃவுளூரைடு மற்றும் தொடர்புடைய சேர்மங்களுடன் பொறித்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. ஒரு மேற்பரப்பில் வெளிப்புறமாக நிரப்பக்கூடிய ஒரு கால்வாயைக் கொண்ட ஒரு பி. டி. எம். எஸ் முத்திரையை வைப்பதன் மூலம், அந்த மேற்பரப்பு கால்வாயின் பகுதியில் செயல்பட முடியும். அதற்குள் கால்வாய் வழியாக ஒரு பொறித்தல் கரைசலை இயக்கும் போது, பி. டி. எம். எஸ்ஸின் ஒரு பகுதி அகற்றப்படும். மேற்பரப்பின் ஒரு புதிய பகுதியை வெளிப்படுத்துகிறது. இதை பொருத்தமான வேதியியல் மூலம் செயல்பட முடியும். உற்பத்தி செய்யப்படும் அம்சத்தின் அகலம் எட்சாண்ட் மற்றும் நேரத்தால் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. சிறிய வடிவமைப்பு அம்சங்களின் உற்பத்திக்கு இந்த நுட்பத்தைப் பயன்படுத்த, மேற்பரப்பை கால்வாயால் வெளிப்படும் பகுதியில் செயலற்றதாக மாற்றுவதற்கு எதிர்வினையாற்றுவது அவசியம், அதைத் தொடர்ந்து பொறித்தல் மற்றும் பின்னர் புதிதாக வெளிப்படும் பகுதியில் மட்டுமே நிகழும். குறிப்புகள் பெர்ரிங் எம்., மிட்செல் எம்., கெனிஸ் பி. ஜே. ஏ., போடென் என். பி., செம். மேட் 2007 19 (11), 2903 நானோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்