इस वाक्य का एक अधिक जटिल संस्करण उत्पन्न करें एकाधिक पैटर्निंग एक ही परत पर पूर्व-मुद्रित सुविधाओं के बीच एटचिंग या साइडवॉल स्पेसर बनाकर सुविधाओं को मुद्रित करके रिज़ॉल्यूशन बढ़ाने की एक विधि है।
बेशक, वाक्य का एक अधिक जटिल संस्करण है "बहु पैटर्निंग एक ही परत पर पूर्व-मुद्रित सुविधाओं के बीच एथिंग या साइडवॉल स्पेसर्स बनाकर प्रिंटिंग सुविधाओं द्वारा रिज़ॉल्यूशन बढ़ाने की एक विधि है, और 32 एनएम प्रक्रिया नोड के बाद से माइक्रोप्रोसेसर के वाणिज्यिक उत्पादन में उपयोग किया गया है। "