Ultraviolettisäteily
Ultraviolettisäteily tarkoittaa ”yliviolettisäteilyä”, jonka nimessä sana ultra on latinaa. Violetti on lyhyin näkyvän valon aallonpituuden väri. Ultraviolettisäteilyä kutsutaan usein mustavaloksi, koska ultraviolettisäteily on ihmissilmälle näkymätöntä ja mahdollinen näkyvä aallonpituus on väriltään tummanviolettia.
Optinen litografia
Maskit tehdään useimmiten kvartsista. Valmiin levyn toiselle puolelle kasvatetaan muutaman kymmenen nanometrin paksuinen metallikalvo (kromia), johon haluttu kuvio kirjoitetaan elektronisuihkulitografialla. Muovikalvoille tulostetut maskit tulevat kyseeseen yli viiden mikrometrin viivanleveyksillä. Käytettävän UV-valon aallonpituus on teollisuuden huippulaitteissa yleensä 193 nm, mutta useimmissa laitteissa aallonpituus on joko 365 nm tai 436 nm.