Ultraviolettisäteily
Ultraviolettisäteily tarkoittaa ”yliviolettisäteilyä”, jonka nimessä sana ultra on latinaa. Violetti on lyhyin näkyvän valon aallonpituuden väri. Ultraviolettisäteilyä kutsutaan usein mustavaloksi, koska ultraviolettisäteily on ihmissilmälle näkymätöntä ja mahdollinen näkyvä aallonpituus on väriltään tummanviolettia.
Optinen litografia
Hyvin ohuiden viivojen optista projektointimahdollisuutta rajoittaa käytetyn valon aallonpituus sekä pienentävien linssien riittämätön valontaittokyky. Nykyisin käytössä olevilla optisilla litografiatyökaluilla käyttämällä syvää ultraviolettivaloa (DUV, deep ultraviolet) aallonpituuksilla 248:sta 193:een nanometriin päästään 50 nm viivanpaksuuteen. Optista litografiaa voidaan kehittää vieläkin ohuempaan viivanpaksuuteen 193 nm aallonpituudella ja käyttämällä nesteupotustekniikkaa eli immersiolitografiaa. Tässä tekniikassa kiekon ja linssien välissä käytetään puhdasta deionisoitua vettä, jolloin taitekerroin on suurempi kuin normaalissa ilmakerroksessa linssien ja kiekon välissä. Vielä pienempään viivanleveyteen voidaan päästä röntgensäteiden avulla.