Epäorgaaninen kemia
Epäorgaaninen kemia on kemian osa-alue, joka tutkii epäorgaanisia yhdisteitä kuten metalleja, mineraaleja ja organometalliyhdisteitä. Orgaaninen kemia sitä vastoin tutkii orgaanisia yhdisteitä, jotka sisältävät hiiltä. Tarkkaa rajaa näiden kahden tieteenalan välillä ei ole, sillä esimerkiksi organometalliyhdisteitä tutkivat molemmat.
Kemiallinen kaasufaasipinnoitus
CVD:llä voi valmistaa ohuita kuparikalvoja joko epäorgaanisesta tai organometalliyhdisteestä. Epäorgaanisessa prosessissa käytetään joko kupari(I)kloridia (CuCl), kupari(II)kloridia (CuCl), kupari(I)fluoridia (CuF), tai kupari(II)fluoridia (CuF). Epäorgaanisten kupariyhdisteiden kanssa ongelmana on niiden huono syttyvyys ja ne tarvitsevat korkeita reaktiolämpötiloja. Korkean lämpötilan takia syntyy korrodoivia sivutuotteita kuten vetykloridia (HCl) ja vetyfluoridia (HF) sekä suuria määriä epäpuhtauksia.