Deismi
Varsinkin ranskalaiseen valistukseen liittyi usein deismi suhteessa uskonnollisiin kysymyksiin. Deismin mukaan järkiperustein on syytä uskoa, että todellisuuden on luonut jokin jumala, mutta tästä jumalasta on mahdotonta saada tarkempaa tietoa. Keskeinen askel uskonnosta deismiin on luopuminen uskomisesta pyhien kirjojen totuudellisuuteen. Deistit yleensä ajattelivat, että koska Raamattu on väärässä monien luonnontieteellisten seikkojen suhteen, jumala ei ole voinut kirjoittaa sitä. Deistien mukaan heidän oppinsa ei vaadi uskoa, vaan perustuu yksinomaan järjen käyttöön. Deismin kannattajien mukaan deismi ei siis ole uskonto. Usein deismi luetaan teismin alalajiksi.
Ateismin historia
Ensimmäinen avoimen ateistinen teos Saksassa oli paroni d'Holbachin "La Systéme de la Nature" (Luonnon järjestelmä, 1770). Englannissa ensimmäisenä ei-peiteltynä ateistisena teoksena pidetään William Hammonin ja Matthew Turnerin kirjoitusta "Answer to Priestley", joka oli vastaus Joseph Priestleyn teokseen "Letters to a Philosophical Unbeliever" (1780). Kuitenkin vielä vuonna 1812, kun nuori runoilija Percy Bysshe Shelley kirjoitti teoksen "The Necessity of Atheism", hänet erotettiin Oxfordin yliopistosta ja kirjan kappaleet poltettiin. Teoksen "The Refutation of Deism" (1814) julkaisemisen jälkeen Shelley julistettiin kelvottomaksi holhoamaan lapsiaan.