Fluori
Fluori on ihmiselle pieninä määrinä hyödyllistä. Fluori kertyy luihin ja hampaisiin. Se vahvistaa luita muuttamalla kalsiumfosfaatin fluoriapatiitiksi. Fluoridi tekee hammaskiilteen suojaavammaksi. Hammastahnaan lisätäänkin usein fluoridia. Ihminen saa fluoria muun muassa kananmunista, kanasta, sianlihasta, maitotuotteista ja teestä.
Kemiallinen kaasufaasipinnoitus
Kemiallisessa kaasufaasipinnoituksessa käytettyjä yhdisteitä ovat fluoridit, kloridit, bromidit, jodidit, organometalliset aineet, hiilivedyt, fosforitrifluoridit ja ammoniumkompleksit. Pinnoitettavia aineita puolestaan ovat eri metallit ja metalliseokset, metalliyhdisteet, boori, pii, hiili, boridit, silisidit, karbidit, oksidit ja sulfidit. Useat kaasufaasipinnoituksessa käytettävät prekursori- ja päästökaasut ovat myrkyllisiä tai hyvin korrodoivia, joten menetelmää käytettäessä on huomioitava aineiden ja päästöjen turvallinen käsittely ja hävittäminen.