Litografia
Litografia eli kivipaino, kivipainanta tai kivipainotaide on tasaiselle pinnalle käytettävä painomenetelmä. Menetelmällä voidaan painaa tekstiä tai kuvia paperille tai jollekin muulle sopivalle materiaalille. Optinen litografia on litografian muoto, jota käytetään puolijohteiden ja mikrosysteemijärjestelmien valmistamissa.
Optinen litografia
Optinen litografia soveltuu hyvin massatuotantoon, sillä valotusajat ovat minuutin luokkaa ja kaikki maskin kuviot siirtyvät kerralla. Valotettu resisti kehitetään kemikaaleilla, jotka resistityypistä riippuen liuottavat valotetun (positiivinen) tai valottamattoman (negatiivinen) alueen. Prosessin vaatimien maskien hinta kasvaa eksponentiaalisesti viivanleveyden kavetessa. Koska prosessi vaatii maskin käyttöä ja pienen viivanleveyden laitteet ovat erittäin kalliita, optinen litografia sopii huonosti tutkimus- ja tuotekehitystarkoituksiin, jossa täsmälleen samanlaisia rakenteita tehdään vain vähäisiä määriä. Teollisuudessa käytetään tällä hetkellä jopa 22 nm prosessia, ja MIT:n tutkijoiden mukaan optisella litografialla voidaan päästä jopa 12 nanometrin rakenteisiin.