Biokemia
Koska elävät organismit sisältävät runsaasti hiiltä, orgaaninen kemia käsitteenä laajentui yleisesti hiiliyhdisteiden kemiaksi. Epäorgaaninen kemia vastaavasti muotoutui muiden kuin hiiliyhdisteiden kemiaksi. Luonnossa esiintymättömien orgaanisten yhdisteiden, kuten muovien, syntetisoimisen myötä biokemia muotoutui tarkoittamaan elävien organismien kemiaa – orgaanista ja epäorgaanista. Sillä tavoin biokemia tarkoittaa 2000-luvulla samaa, mitä orgaaninen kemia tarkoitti 1800-luvun alussa.
Kemiallinen kaasufaasipinnoitus
CVD:llä voi valmistaa ohuita kuparikalvoja joko epäorgaanisesta tai organometalliyhdisteestä. Epäorgaanisessa prosessissa käytetään joko kupari(I)kloridia (CuCl), kupari(II)kloridia (CuCl), kupari(I)fluoridia (CuF), tai kupari(II)fluoridia (CuF). Epäorgaanisten kupariyhdisteiden kanssa ongelmana on niiden huono syttyvyys ja ne tarvitsevat korkeita reaktiolämpötiloja. Korkean lämpötilan takia syntyy korrodoivia sivutuotteita kuten vetykloridia (HCl) ja vetyfluoridia (HF) sekä suuria määriä epäpuhtauksia.