Виходячи з цього пункту, будь ласка, надайте список процесів, що використовуються для підготовки напівпровідникових матеріалів для інтегрованих схем (ІК).
Існує комбінація процесів, які використовуються для підготовки напівпровідникових матеріалів для IC. Один процес називається термічною оксидацією, яка утворює діоксид кремнію на поверхні кремнію. Використовується як ізолятор і оксид поля. Інші процеси називаються фотомасками і фотолітографією. Цей процес є тим, що створює закономірності на схемі в інтегрованій схемі. Ультрафіолетове світло використовується разом з фоторезистентним шаром для створення хімічної зміни, яка генерує закономірності для схеми.

Оцінка - це наступний процес, який потрібно зробити. Частина кремнію, яка не була покрита фоторезистентним шаром з попереднього кроку, тепер може бути намальована. Основний процес, який зазвичай використовується сьогодні, називається плазменним етикеткою. Плазмовий етикет зазвичай включає етикетний газ, що прокачується в камеру низького тиску для створення плазми. Найпоширенішим етиловим газом є хлорофторуглерод, або більш широко відомий як фреон. Висока радіочастотна напруга між катодом і анодом є тим, що створює плазму в камері. Силіконовий вафер розташований на катоді, що призводить до того, що його вражають позитивно заряджені іони, які вивільняються з плазми. Результатом є кремній, який ецтується анізотропно.

Останній процес називається дифузією. Це процес, який надає напівпровідному матеріалу його бажані напівпровідні властивості. Це також відоме як допінг. Процес вводить в систему нечистий атом, який створює з'єднання p-n. Щоб отримати нечисті атоми вбудовані в кремнієвий вафер, вафер спочатку поміщається в камеру 1100 градусів за Цельсієм. Атоми вводяться і в кінцевому підсумку дифузуються з кремнієм. Після того, як процес завершено і кремній досяг кімнатної температури, процес допінгу завершується, і напівпровідний матеріал готовий до використання в інтегрованій схемі.
Тепловий окис
Фотомаски / фотолітографія
Етінг (переважно плазменний етінг)
Допінг / Doping