Beantworten Sie nach dem Lesen des folgenden Absatzes bitte diese Frage: Wie funktioniert eine Ionengetter-Vakuumpumpe?

Vakuum

=== Ultrahochvakuum ===
Zum Erreichen des Ultrahochvakuums werden nichtmechanische Pumpen verwendet. Eine Ionengetterpumpe pumpt durch Ionisation und Einfangen der Restgasmoleküle in Titanröhrchen in einem Druckbereich von 10−10 bis 10−7 mbar. Die Pumpleistung reicht hier nur dann aus, wenn das Ausheizen vorher den Restgasdruck genügend vermindert hat. Eine Titansublimationspumpe arbeitet mit frisch auf eine Wand aufsublimiertem Titan, das sich durch eine hohe chemische Reaktivität auszeichnet und Restgasatome an sich und der (kalten) Kammerwand bindet, so dass sich der Restgasdruck weiter vermindert. Der mit diesem oben beschriebenen Verfahren erreichbare Restgasdruck liegt im Bereich von 10−11 mbar.
Durch Kühlfallen am unteren Teil der Kammer kann weiteres Restgas temporär gebunden und der Kammerdruck auf ungefähr 10−12 mbar gesenkt werden. Wird die gesamte Kammer in flüssiges Helium getaucht, so sind Drücke von unter 10−16 mbar erreichbar.
Eine Ionengetterpumpe pumpt durch Ionisation und Einfangen der Restgasmoleküle in Titanröhrchen in einem Druckbereich von 10−10 bis 10−7 mbar.