불화수소는 가스 말고 액체형태인 불산 도 있는데, 한국에서는 종종 불산이 유출되어 근로자들이 사망하는 사고가 보도된다.
반도체 전문가들은 액체인 불산 보다는, 일본에서 직수입한 고순도 불화수소인 에칭가스가 최신 공정에서는 반드시 필요하다고 주장한다. 불화수소는 가스 말고 액체형태인 불산 도 있는데, 한국에서는 종종 불산이 유출되어 근로자들이 사망하는 사고가 보도된다. 그러나 정확하게는 불산가스로, 불화수소를 말한다.