Mikrolülituse topoloogia identifitseerimise dokumendid võivad sisaldada jooniseid või fotosid mikrolülituse topoloogiast, maskist või selle osast, millega mikrolülitus on valmistatud või millega saab seda mikrolülitust valmistada, ja mikrolülituse eri kihtidest.
Mikrolülituse topoloogia identifitseerimise dokumendid võivad sisaldada jooniseid või fotosid mikrolülituse topoloogiast, maskist või selle osast, millega mikrolülitus on valmistatud või millega saab seda mikrolülitust valmistada, ja mikrolülituse eri kihtidest.