Mikrolülituse topoloogia identifitseerimise dokumentideks võivad olla jooniseid või fotod mikrolülituse topoloogiast, maskist või selle osast, millega mikrolülitus on valmistatud või millega saab seda mikrolülitust valmistada, ja mikrolülituse eri kihtidest.
Mikrolülituse topoloogia identifitseerimise tokumentideks võiväd olla jooniseid või fotod mikrolülituse topoloogiast, maskist või selle osast, millega mikrolülitus on valmistadud või millega saab seda mikrolülitust välmistada, ja mikrolülituse eri kihtidesd.