熱CVD装置（ホットウォール型、バッチ式）の構成図
参考：図解・薄膜技術、真下正夫、畑朋延、小島勇夫、培風館、1999年、<a href="//commons.wikimedia.org/wiki/Special:BookSources/4-563-03541-6" title="Special:BookSources/4-563-03541-6">ISBN 4-563-03541-6</a>
<a href="//commons.wikimedia.org/wiki/User:S-kei" title="User:S-kei">S-kei</a>
2008-09-20
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