#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int N = (1 << 20) + 10;
const int MOD = 1000000007;
int f[N];
int p[N];
int main() {
  int n;
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 1; i <= n; i++) {
    int a;
    scanf("%d", &a);
    f[a]++;
  }
  for (int i = 0; i < 20; i++)
    for (int j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      if (j & (1 << i)) {
        f[j ^ (1 << i)] += f[j];
      }
    }
  p[0] = 1;
  for (int i = 1; i <= (1 << 20); i++) {
    p[i] = p[i - 1] * 2 % MOD;
  }
  for (int i = 0; i < (1 << 20); i++) {
    f[i] = p[f[i]];
  }
  for (int i = 0; i < 20; i++) {
    for (int j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      if (j & (1 << i)) {
        (f[j ^ (1 << i)] += MOD - f[j]) %= MOD;
      }
    }
  }
  printf("%d\n", f[0]);
  return 0;
}
