极紫外辐射

极紫外辐射（英语：Extreme ultraviolet radiation）或高能紫外辐射，简称EUV、XUV，是波长在124nm到10nm之间的电磁辐射，对应光子能量为10eV到124eV。自然界中，日冕会产生EUV。人工EUV可由等离子源和同步辐射源得到。主要用途包括光电子谱、对日EUV成像望远镜及光微影技术等。
EUV是最易被空气吸收的谱段，因此其传输环境需高度真空。

EUV的产生

中性原子或固体无法发射EUV。产生EUV，首先要发生电离。只有被带多个正电荷的离子束缚的电子才能够发射EUV。例如，把+3碳离子继续剥除一个电子的过程需要65eV，其中的电子比普通价电子更受束缚。而带多电荷的正离子存在于热等离子体，或者，利用高次谐波强激光场可以临时产生自由电子和离子。强场中，电子在驱返回母核的时候被加速，结合将发射能量更高的光子，这个光子可能在EUV范围内。如果释放的光子能量足够大，它将接着电离用来产生高次谐波的媒质，使得产生高次谐波的媒质源被耗尽。另一方面，EUV的电场强度不够高，无法驱动电子，电子将逃逸。电子无法返回母核意味着无法产生更高次的谐波。而要进一步剥离电离后母核中的电子需要更大能量的光子。因此，产生EUV的过程与吸收电离的过程彼此竞争。
另外，在同步加速器中，沿轨道高速运动的电子也会辐射EUV。