Procfs

UNIX 8th Edition

Tom J. Killian 实现了UNIX 8th Edition 版本的/proc：他1984年6月向USENIX 提交了一份题为"Processes as Files" 的论文。procfs 的设计目标是用来替代进行进程跟踪的ptrace 系统调用。 详细文档请参考proc(4) manual page。

SVR4

Roger Faulkner 和 Ron Gomes 将 V8 的 /proc 移植到了SVR4，并在1991年1月的USENIX 上发表了一篇题为"The Process File System and Process Model in UNIX System V" 的论文。此类procfs 支持 ps 的创建，但是文件只能由如下函数访问： read(), write(),  ioctl().

九号项目

九号项目 实现了一个进程文件系统，但比V8 做得更多。V8 的进程文件系统中，对一个进程相关的所有函数都在一个文件进行操作。九号项目使用单独的文件，提供这些函数，使得／proc 成为文件系统真正的一部分。

4.4BSD

4.4BSD 基于九号项目 克隆得到了其/proc 系统。注意，在 FreeBSD 中 procfs 已被放弃。默认安装的base 系统不依赖procfs，FreeBSD 原生 ports 也不再依赖procfs。

Solaris

Solaris 2.6 的 /proc（完成于1996）也克隆了九号项目.