三氟化氯

危害

ClF₃是一种很强的氧化剂、氟化剂。它能与大多数无机物、有机物甚至塑料反应，可以使许多材料不接触明火就燃烧。这些反应通常很剧烈，在某些情况下甚至会爆炸。它与一些金属反应生成氯化物和氟化物，与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷，而与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫。 ClF₃也与水剧烈反应，水解产生有毒物质，例如氟化氢。H₂S在室温下与ClF₃混合就会爆炸。
超过氧气的氧化性使ClF₃能腐蚀通常视为不可燃的含氧材料。在一起工业意外中，900千克ClF₃泄漏，烧穿了下面30厘米厚的混凝土和90厘米厚的砾石. 任何和三氟化氯接触的设备必须经过仔细挑选和清洁, 因为任何污染都可以烧穿钝化膜，使它来不及重新生成。

半导体工业

在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。 它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。 与其它代替的清洁剂不同，三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化，因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。