계면 거칠기 분석
거친 계면의 X선 산란
실제 층 구조에서는 원자성이 선명하지 않은 표면과 계면이 보입니다. 계면 거칠기 및 계면부터 계면까지 상관관계가 매우 중요한 응용 분야가 많습니다. 따라서, 계면 품질에 대한 지식과 제어는 실용적이며 근본적인 관심사입니다.
X선 산란에서는 파묻힌 계면의 정보를 획득하는 비파괴 방법이 제공됩니다. X선 반사측정은 필름 두께, 물질의 밀도 및 계면 거칠기에 민감합니다. 그러나 정반사만으로는 밀도 구배를 물리적 거칠기와 구분할 수 없습니다. 거친 표면/계면에서 비간섭 확산 부분은 정반사를 벗어난 X선 산란으로 가장 잘 측정할 수 있습니다. 가능한 주사 중 하나는 검출기 각도를 고정하고 샘플을 회전시키는 것입니다.
확산 산란 데이터에서 거칠기의 일반적인 특징이 드러납니다. 반사성 부분의 아래쪽과 위쪽에 있는 이러한 날개(이른바 Yoneda 피크)는 거칠기 유무를 나타냅니다. 날개부터 반사성 부분까지 범위는 산란 길이 밀도의 영향을 받습니다. 거친 계면을 변형파 보른 근사로 설명하는 샘플 모델을 맞춰 분석을 수행합니다.
각종 분석 수요에 대응하는 다목적 솔루션
측정 Crystal structure determination, 상 식별, Phase quantification, Contaminant detection and analysis, Residual stress, Epitaxy analysis, Interface roughness, 텍스처 분석, 3D structure / imaging, Reciprocal space analysis
고니오미터 구성 Vertical goniometer, Θ-Θ
기술 유형 X-ray Diffraction (XRD)
측정 상 식별, Phase quantification, 박막 계측학, Residual stress, Epitaxy analysis, Interface roughness, 텍스처 분석, Reciprocal space analysis
웨이퍼 매핑 100 mm
C-to-C 웨이퍼 로더 No
고니오미터 구성 Horizontal goniometer, Θ-2Θ
최소 단계 크기 0.0001º
다목적 물질 연구 회절 시스템
웨이퍼 매핑 200 mm
C-to-C 웨이퍼 로더 Yes
검출기 PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
X 선관 음극 재료 Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo
The next generation cost-effective, multipurpose X-ray diffraction platform
측정 Surface area, Crystal structure determination, 상 식별, Phase quantification, Pore size distribution, 박막 계측학, Contaminant detection and analysis, Residual stress, Interface roughness, 3D structure / imaging
웨이퍼 매핑 No
최소 단계 크기 0.001º
검출기 PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
X 선관 음극 재료 Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo, Ag
자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은
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고니오미터 구성 Vertical goniometer, Θ-Θ Horizontal goniometer, Θ-2Θ Horizontal goniometer, Θ-2Θ Vertical goniometer, Θ-Θ
웨이퍼 매핑 100 mm 200 mm No
C-to-C 웨이퍼 로더 No Yes No
최소 단계 크기 0.0001º 0.0001º 0.001º
검출기 PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
X 선관 음극 재료 Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo, Ag
기술 유형 X-ray Diffraction (XRD) X-ray Diffraction (XRD) X-ray Diffraction (XRD) X-ray Diffraction (XRD)
Characterization of thin layers on glass
Application of a beam knife in reflectivity measurements on non-ideal surfaces
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