Das Lernziel der Lehrveranstaltung besteht im Verstehen des Aufbaus und der Funktionsweise von ''Mikrosystemen'' wie Mikrosensoren, Mikroaktoren, mikrofluidischen und mikrooptischen Komponenten.<ref>{{Internetquelle | url=http://www.emk.tu-darmstadt.de/mems/lehre/mikrosystemtechnik/ | autor= Helmut F. Schlaak | titel=Vorlesung "Mikrosystemtechnik" | hrsg=TU Darmstadt | datum=2016 | zugriff=2017-08-31 }}</ref>
''[[Technik]]:'' sehr kleines System