„Die Nanoindentierung erlaubt die lokale Bestimmung von Härte und ''Elastizitätsmodul'' an ultradünnen Schichten (> 300 nm) mit einer lateralen Auflösung im Mikrometerbereich und ermöglicht damit auch lokale Härtemessungen oder Härtemappings an inhomogenen Proben.“<ref>{{Internetquelle | url= https://www.ist.fraunhofer.de/de/kompetenzen/analytik-prueftechnik/haerte-elastizitaetsmodul.html| titel= Härte und Elastizitätsmodul von Schichten und Massivmaterialien| zugriff=2021-10-31}}</ref>
{{K|Physik}} Kennwert, der das Verhalten eines Werkstoffs bei elastischer Dehnung beschreibt