„Chiphersteller setzen auf extrem ''kurzwelliges'' Ultaviolettlicht (EUV), um ihre Produkte weiter zu verkleinern.“<ref>{{Per-Spektrum-d-W Online | Online=https://www.spektrum.de/magazin/spiegel-aus-nanoschichten/830186 | Autor=Bernd Müller | Titel=Lithografie: Spiegel aus Nanoschichten | TitelErg= | Nummer= | Tag=01 | Monat=10 | Jahr=2003 | Zugriff=2020-01-31 | Kommentar= }}</ref>
{{K|Physik}} eine [[kurz]]e [[Wellenlänge]] [[haben]]d