In den Proben, in denen ''Siliziumdioxid'' als Dielektrikum verwendet wurde, traten durchweg keine Risse auf, unabhängig von der Dicke der Schicht aus ''Siliziumdioxid''.<ref>{{Literatur | Online=zitiert nach {{GBS|JOM5CjgVQYcC|PA35|Hervorhebung=Siliziumdioxid}} | Autor=Sabine Peters | Titel=Laserscanner und Minispektrometer basierend auf hochdispersiven optischen Dünnschichtfiltern | Verlag=KIT Scientific Publishing | Jahr=2011 | Seiten=35 | ISBN=9783866446892 }}.</ref>
[[chemisch]]e [[Verbindung]] des Siliziums mit je zwei [[Sauerstoffatom]]en in jedem [[Molekül]]