디지스트 중앙기기센터, CMOS 제작 반도체 공정 소자클린룸 확대 개방
디지스트 중앙기기센터가 CMOS(상보형 금속산화반도체) 제작이 가능한 반도체 공정 소자클린룸을 확대, 개방한다. 

관련 시설을 갖추지 못한 학교·연구소 등에 관련 시설을 제공할 계획이다. 

이에 따라 향후 CMOS 기반의 차세대 반도체용 연구소자 기술개발 등 다양한 연구·개발에 활용할 수 있을 것으로 기대된다. 

중앙기기센터는 지능형반도체 연구역량 제고와 반도체 제조 공정 활용 가치창출을 목표로 0.5㎛급 CMOS 표준공정 라인을 추가적으로 구축했다. 

이를 통해 단위공정 수준이 아닌 일괄된 소자제작이 가능해 졌다. 

CMOS 레벨에서 구동해야 하는 연구용 소자 테스트, CMOS 기반 반도체 신소자와 소재개발 플렛폼 제공, CMOS 단위 웨이퍼 제공, CMOS 기반 교육서비스 지원 등 반도체 관련 연구와 교육에 널리 활용될 예정이다. 

앞서 중앙기기센터는 반도체공정과 나노분석 지원이 가능한 수준급의 연구 플랫폼을 구축해 소재·소자 검증, 분석, 실증이 가능한 일괄 서비스를 제공해왔다. 

6인치 기반 반도체 공정 소자클린룸을 보유 중으로 실리콘계 반도체 공정, MEMS와 마이크로 가공, 통신소자, 센서와 계측시뮬레이션 등의 공정장비과 나노·바이오분석 장비 등 총 170여 종을 구축·운영 중이다. 

이봉호 센터장은 “세계 반도체 수탁생산 시장 증가와 국내 산·학·연의 연구개발 필요성이 증대되고 있다”며 “따라서 CMOS 표준공정 라인 확대구축을 진행하게 됐다”고 말했다. 

또 “향후 지역기업을 포함한 여러 연구진들의 차세대 반도체 분야 연구에 많은 보탬이 될 수 있을 것”이라고 덧붙였다. 



어디서 CMOS를 생산할 수 있는 소자클린룸을 마련한 거야
디지스트 중앙기기센터