초음파식 가습기는 초음파로 진동하는 세라믹 칸막이를 사용하여 물방울을 만들어 시원한 안개 형태로 가습기 밖을 조용히 빠져나오게 한다. 일반적으로 미스트는 조그마한 팬을 통해 강제적으로 발생되지만 일부 크기가 극히 작은 모델들은 팬이 없다. 팬이 없는 모델은 주로 개인용임을 의미한다. 초음파 가습기는 압전기를 사용하여 수막 형태로 높은 주파수의 기계식 진동을 일으킨다. 지름에 약 1 마이크론 크기의 극히 미세한 물방울을 만들어내며 빠르게 대류에 증발된다.

물을 끓이는 가습기와는 달리 이 물방울들은 급수대의 불순물이 포함될 수 있으며 여기에는 센물의 미네랄(흰색 먼지가 주변 물체와 가구에 달라붙을 경우 떼어내기가 쉽지 않음)이 포함된다. 침체된 탱크의 병원균이 대기에 방출될 수도 있다. 초음파 가습기들은 주기적으로 청소하여 대기로 병균 오염물질이 퍼져나가지 않도록 예방하여야 한다.

미네랄과 기타 물질의 양은 증류수를 사용하면 상당한 수준으로 줄일 수 있다. 특수 가습기 살균제 또한 공기로 운반되는 물질의 양을 줄일 수 있으나 EPA는 "이러한 장치들이 미네랄을 제거하는 능력은 매우 다양하다"며 경고한다 미네랄 먼지는 건강에 악영향을 미칠 수 있다. 윅 가습기들은 미네랄 침전물을 윅에 가둔다. 즉, 기화식 가습기는 가열 부품 주위로 미네랄을 보이게 하는 경향이 있으므로 식초나 시트르산으로 주기적인 청소를 하는 것이 필요하다.
물방울에 급수대의 이물질이 없는 가습기는?
물을 끓이는 가습기