美 ASML에 수출중단 압박… 中 반도체 굴기 옥죄기
네덜란드 ASML 본사 사옥. 로이터 연합뉴스 미국이 중국의 반도체 산업에 대한 제재의 수위를 높이고 있다. 그간의 고강도 제재에도 불구하고 중국의 반도체 굴기 가 오히려 더 속도를 내자 추가 압박을 가하는 것으로 분석된다. 5일 현지시간 블룸버그통신에 따르면 미국은 네덜란드의 대표적 반도체 장비 업체인 ASML에게 EUV 극자외선 노광장비에 이어 구형 장비인 DUV 심자외선 노광장비에 대해서도 중국 판매 금지를 요청했다. 블룸버그는 돈 그레이브스 미국 상무부 부장관이 5월 말부터 지난달 초까지 네덜란드와 벨기에를 방문했을 당시 공급망 이슈를 논의하며 중국 수출 문제를 언급했고 ASML 본사도 방문해 피터 베닝크 ASML CEO 최고경영자 를 만나 이와 같은 내용을 요청했다고 소식통들을 인용해 보도했다. 네덜란드 정부는 미국의 압박으로 ASML이 세계에서 유일하게 생산하는 EUV 장비의 중국 수출 승인을 내주지 않고 있는데 이 조치를 DUV까지 확대하기를 요구한 것이다. ASML은 반도체 웨이퍼 위에 회로 선폭을 새기는 노광 과정에 필요한 장비를 주로 생산한다. 이 중 EUV는 극자외선 파장의 빛을 이용하는 것으로 파장이 짧아 미세한 회로 구현에 용이하다. EUV 장비는 차세대 반도체 공정에 반드시 필요한 장비지만 현재까지는 5나노 이하 초미세공정이 필요한 시스템반도체 생산이나 10나노 초반대의 차세대 D램 등에서만 주로 쓰인다. 20나노 이상의 숙성 공정에서는 여전히 불화아르곤 ArF 을 사용하는 DUV 노광장비가 가장 일반적으로 사용된다. 미국은 일본 니콘에도 DUV 장비를 중국에 판매하지 못하게 금지해줄 것을 요청하고 있는 것으로 알려졌다. 이는 중국이 10나노 이상급 파운드리에서 괄목할 성장을 이어가고 있어서인 것으로 풀이된다. 대만 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 중국 파운드리 반도체 위탁생산 를 대표하는 SMIC 화훙 넥스칩의 시장점유율 합계는 올해 1분기 처음으로 10%를 넘어섰다. 이들 3개사의 매출 합계는 33억2900만 달러에 이른다. 최근 국제반도체장비재료협회 SEMI 에 따르면 해외 반도체 생산장비 업체에 대한 중국의 장비 주문은 지난해에만 전년 대비 58% 증가하며 2년 연속 글로벌 1위를 기록했다. 블룸버그는 이 같은 중국의 반도체 자급화 움직임에 미국의 제재가 오히려 중국 반도체의 약진을 도왔다 고 언급하기도 했다.
5일 그레이브스 미국 상무부 부장관이 5월 말부터 지난달 초까지 네덜란드와 벨기에를 방문했을 당시 공급망 이슈를 논의하며 중국 수출 문제를 언급했고 네덜란드의 대표적 반도체 장비 업체인 ASML에게 EUV 극자외선 노광장비에 이어 구형 장비인 DUV 심자외선 노광장비에 대해서도 중국 판매 금지를 요구한 것으로 전해지며, 그간의 고강도 제재에도 불구하고 중국의 반도체 굴기 가 오히려 더 속도를 내자 추가 압박을 가하는 것으로 분석된다.