section_heading: Prevlačenje u parnoj fazi
paragraph_text: Postupcima prevlačenja u parnoj fazi nanose se stabilni i tvrdi koji spadaju u podskupine neoksidne keramike (TiC, TiN, TiCN, TiAlN, TiAlCN, B<sub>4</sub>C, SiC), oksidne keramike (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, TiO<sub>2</sub>), metaloorganskih spojeva Me:CH (W<sub>97</sub>C<sub>3</sub>), te dijamantu sličnog ugljika ili DLC (engl. Diamond Like Carbon). Postoje postupci kemijskog prevlačenja u parnoj fazi (CVD), fizikalnog prevlačenja u parnoj fazi (PVD), te plazmom potpomognuti postupci kemijskog prevlačenja u parnoj fazi (PA CVD):