وعلى الرغم من التشابه في المفهوم بين المجهر المتحد البؤر الذي طوره مارفن مينسكي في عام 1961 ومجهر المسح الصوتي الذي طوره كالفين كوات وزملاء العمل في السبعينات، إلا أن مجاهر المسح الضوئي الأحدث تتميز بدقة أعلى بكثير، نظرًا لأنها لا يحدها الطول الموجي للصوت أو الضوء.