" Распрацоўка новых метадаў праектавання і развіццё фізіка-тэхналагічных асноў стварэння высокіх тэхналогій вытворчасці канкурэнтаздольных мікраэлектронных вырабаў " Прэмія Міністэрства прамысловасці Рэспублікі Беларусь