Los micrófonos del tipu MEMS ("Microelectromechanical systems" n'inglés), tamién son denominaos chips microfónicos o micrófonos de siliciu. Una diafragma sensible a la presión grábase direutamente nuna oblea de siliciu por aciu téuniques de procesamientu de MEMS, y polo xeneral acompañar con un preamplificador integráu. La mayoría de los micrófonos MEMS son variantes del diseñu del micrófonu de condensador. Los MEMS dixitales construyéronse integraos en circuitos analóxicu-a-dixital (ADC) nel mesmu chip CMOS, faciendo del chip un micrófonu dixital completu, más fácilmente incorporable a productos dixitales modernos. Los principales fabricantes que producen micrófonos MEMS de siliciu son Wolfson Microelectrónica (WM7xxx) agora Cirrus Logic, Analog Devices, Akustica (AKU200x), Infineon (productu SMM310), Knowles Electronics, MemsTech (MSMx), NXP Semiconductors (división mercada por Knowles), Sonion MEMS, Vesper, Teunoloxíes acústiques AAC y Omron.