Los materials paleozoicos de la sierra d'Ateca perteneixen a lo macizo d'Ateca chunto con los de sierra Corija, los de la sierra de Pardos, la sierra de Santa Cruz y la sierra de Valdellosa y son d'edat cambriana y ordoviciana, predominando l'afloramiento de las "Series Ibericas", ye a saber, quarzarenitas y lutitas con aspecto de loseta sedimentaus dende zaguers de lo Cambián meyo dica primers de l'Ordovicián inferior u Arenig.