sentence: Чтобы полностью исключить загрязнение "чужими" атомами, нужно кремниевые приборы подвергать термообработке в кремниевых же контейнерах.
unsandhied: чтобы_M=Cnd полностью_Degree=Pos исключить_A=Pf|VF=Inf|V=Act загрязнение_Animacy=Inan|C=A|Gender=Neut|N=Sg "__ чужой_C=I|Degree=Pos|N=Pl "__ атом_Animacy=Inan|C=I|Gender=Masc|N=Pl ,__ нужный_Degree=Pos|Gender=Neut|N=Sg|Variant=Short кремниевый_Animacy=Inan|C=A|Degree=Pos|N=Pl прибор_Animacy=Inan|C=A|Gender=Masc|N=Pl подвергать_A=Imp|VF=Inf|V=Act термообработка_Animacy=Inan|C=D|Gender=Fem|N=Sg в__ кремниевый_C=L|Degree=Pos|N=Pl же__ контейнер_Animacy=Inan|C=L|Gender=Masc|N=Pl .__