Cette technologie radicale développée par l'Université de Floride met en œuvre une conversion de la lumière laser en EUV associée à un procédé d'élimination efficace des particules neutres et chargées qui sont associées à la source plasma.
Cette technologie radicale développée par l' Université de Floride met en œuvre une conversion de la lumière laser en EUV associée à un procédé d' élimination efficace des de les particules neutres et chargées qui sont associées à la source plasma .