wafer là gì
Từ Wikipedia, bách khoa toàn thư miễn phí. Tấm wafer, còn được gọi là lát hoặc chất nền, là một lát mỏng của vật liệu bán dẫn, chẳng hạn như silicon tinh thể, được sử dụng trong điện tử để chế tạo mạch tích hợp và quang điện cho các tế bào năng lượng mặt trời thông thường, dựa trên tấm wafer. Kích thước của tấm wafer cho quang điện là hình vuông 100ÃƒÂ ¢ Ã‚â‚¬Ã‚â € œ200 mm và độ dày là 200ÃƒÂ ¢ Ã‚â‚¬Ã‚â € œ300 ÃƒÅ½Ã‚Â¼m. Trong tương lai, 160 ÃƒÅ½Ã‚Â¼m sẽ là tiêu chuẩn. Thiết bị điện tử sử dụng kích thước wafer từ đường kính 100ÃÂ ¢ Ã‚â‚¬Ã‚â € œ450 mm. (Các tấm wafer lớn nhất được làm có đường kính 450 mm nhưng chưa được sử dụng phổ biến.).
Sulfur Hexafluoride được ngành công nghiệp bán dẫn sử dụng để khắc plasma trước khi lắng đọng hơi hóa chất (CVD). Các quy trình này bao gồm ăn mòn Oxit, ăn mòn Nitride và làm sạch tấm wafer. Khí SF 6, bản thân nó trơ, liên kết với áp lực của trường RF để tạo thành các ion Fluroide phản ứng.