11上において複数のプローブ深針13を立設してなるマイクロプラズマアレイ10と、マイクロプラズマアレイ10の近傍にプラズマ生成ガスを導入するためのガス導入手段と、マイクロプラズマアレイ10に対して高周波を印加することにより、前記プラズマ生成ガスをプラズマ化してプラズマジェットを生成するための高周波印加手段と、マイクロプラズマアレイ10と観察すべき試料Xとの間に生成されたプラズマ誘導電流を計測するための誘導電流計測手段とから顕微鏡を構成する。近年においては、原子間力顕微鏡(AFM)及び走査型トンネル顕微鏡(STM)などの原子及び分子レベルでの分解能を有する顕微鏡が開発され、広く用いられるようになってきている。これらの顕微鏡は、原子レベルでの分解能に優れていることから、試料表面の局所的な観察や局所的な改質には十分な効果を発揮する。上述したような顕微鏡では、マイクロメータ領域以上での表面観察や表面改質を行うことはできなかった。用いた表面観察や表面改質は、超高真空状態で行うため、作業が繁雑であるとともに、長時間の作業が要求されるという問題もあった。本発明は、顕微鏡、及び前記顕微鏡の原理を利用した表面観察方法に関する。前記複数のプローブ探針は、前記基板上において、前記マイクロプラズマアレイに対して前記高周波を導入するための導電板を介して設けられたことを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。前記プローブ探針の内径が100μm以下であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の顕微鏡。前記プローブ探針の立設密度が100×100個/mm2~1000×1000個/mm2であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一に記載の顕微鏡。前記試料の表面においてマイクロメータ領域の観察を行うことを特徴とする、請求項1~4のいずれか一に記載の顕微鏡。observed.※ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、「問合せ先」まで直接お問合せ下さい。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。