Abstract我々の研究室でMITから送られて来た90μm間隔10μm幅のメッシュ・マスクを用いてAlメッシュ電極をp型シリコン上にホト・エッチング法で取り付けてその特性を調べてみた所、一応の成果を得たので、その製作方針に基いて20枚分の真空紫外光用メッシュ表面障壁型ホト・ダイオ-ドの製作を、昨年11月にレイチック社に依頼した。3月始めに試作品第一号が出来たので現在それをテスト中である。良いものができておればこの方針に従って20枚分製作することになっている。完成は4月下旬の予定である。