DLCの成膜方法DLCの成膜方法2012年4月7日更新DLCはダイヤモンドライクカーボンの略で、語弊を恐れずに言えばダイヤモンドのコーティングようなものです。ダイヤは炭素(C)を構成元素としていますが、この炭素をダイヤモンドに近い形で薄膜として人工的に作り出す技術がDLC膜の根幹を成すもので、ダイヤとまではいきませんが、高い耐摩耗性や耐薬品性などを実現することが出来る薄膜です。DLCの成膜は、材料や薄膜をつける対象が工具等の立体形状が多いということもあり、光学用の真空蒸着による成膜装置が使われることは稀です。PVD(スパッタ、イオンプレーティングを併用した蒸着)とCVD双方で成膜することが可能ですが、得られる特性が異なることや、使う装置も異なることから、用途によって使い分けられています。耐摩耗性を求められるのが形状の入り組んだ部品や工具が多い場合は、CVDによるものが主流のようです。DLCそのものは、ダイヤモンドの膜というよりは、炭素とダイヤモンド、水素が複合的に合わさったような組成になっています。このあたりは成膜手法やその技術のさじ加減で変わってきます。水素が膜中に含まれるのが問題となる場合は、CVDではなく、PVDによる方法が向いています。主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。このサイトについて研削・研磨に関わる情報から、被削材となる鉄鋼やセラミックス、樹脂に至るまで主として製造業における各分野の職種で必要とされる情報を集め、提供しています。「専門的でわかりにくい」といわれる砥石や工業の世界。わかりやすく役に立つ情報掲載を心がけています。砥石選びや研削研磨でお困りのときに役立てていただければ幸いですが、工業系の分野で「こんな情報がほしい」などのリクエストがありましたら検討致しますのでご連絡ください。研磨や研削だけなく、製造業やものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。