6370A.3.asーgrown薄膜材料の弾性定数定法の開発:薄膜層状構造における漏洩レイリ-波の伝搬特性に加えて、漏洩セザワ波と漏洩擬似セザワ波のカットオフ領域の伝搬特性を利用し、弾性定数と密度と膜厚を同時に決定できる新しい方法を開発した。溶融石英基板上に真空蒸着法で形成した金薄膜の評価に適用し、その膜の弾性定数C_<44>と密度がバルク値よりもそれぞれ11%、5.5%小さくなることを明らかにした。