それらの製造方法及びセンサを提供できるようにすることを目的とする。【解決手段】CVD法による薄膜形成処理により、被蒸着液体からなる液体層6に、パリレンを蒸着させてゆき多孔質構造体1を形成する。これにより、多孔質構造体1には、液体層6の液体表面と接触した面に多孔質膜3を形成することができる。多孔質構造体1は、液体層6から剥離することで、パリレン膜2上に有する多孔質膜3を外部に露出させ、当該多孔質膜3を種々の用途に用いることができる。して、本発明では、パラキシリレン系ポリマーの新たな使用形態となり得る多孔質膜3を提供できる。医療機器、自動車パーツ等の各種部材の表面をコートティングするコーティング材として、パリレンCやパリレンN等のパラキシリレン系ポリマー(以下、単にパリレンとも呼ぶ)が知られている(例えば、特許文献1及び2参照)。それらの製造方法及びセンサに関する。多孔質膜は、外部の気体を透過させて前記検知手段により該気体を検知させ、前記検知手段は気体反応液体であり、該気体反応液体が前記基板上に貯溜されることにより液体層を形成し、該液体層を覆うように前記多孔質膜が形成されていることを特徴とするセンサ。多孔質膜は、外部の気体を透過させて前記液体層を介して前記トランスデューサまで該気体を到達させ、前記トランスデューサにより前記気体を検知させることを特徴とするセンサ。東京大学TLOでは、東京大学における知的財産の管理・運営を行なっています。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。