ガス噴出用ノズル1は、下面用板部材2、背面用板部材3、第1の上面用板部材4、第2の上面用板部材5、第3の上面用板部材6、側面用部材7、8からなるガスだまり部9及び原料ガス噴出部10と、原料ガス供給管11、12とを備えている。成膜室に設置されている。従来の流体の整流が可能なノズルとしては、次のような特許文献が開示されている。具体的には、上記特許文献1に、矩形筒体の上流側中央付近に流体の導入部を備え、この導入部から流入した流体を整流する整流部を筒体内に配置し、この整流部で整流した流体を矩形筒体の導出部位置に設けた噴射ノズルから噴射する流体の整流機構において、前記流体の導入部と整流部の間の領域に、筒体の中央部方向に流れる流体を筒体の四隅部及び四辺部方向に分散させるための分散整流板を設けたことを特徴とする流体の整流機構が開示されている。この特許文献1の整流機構を備えた噴射ノズルによると、製品の乾燥、熱処理又は焼付け、水切り、エアカーテン、流体シャワー、除塵等の現場で、流体を噴射する際に、流体の流速及び温度分布を均一に揃えることができる。あり、特に、エアロゾル浮遊ガスを原料ガスとするときに好適なものに関する。備えていることを特徴とする原料ガス噴出用ノズル。前記第2の平面と前記導出部の平面とが、同一平面上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の原料ガス噴出用ノズル。前記導出部の内部空間が、前記ガスだまり部からつば状に突き出た形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の原料ガス噴出用ノズル。前記ガスだまり部が、前記原料ガス供給口側から前記導出部側へ向かって断面積が減少する平滑な誘導面を有していることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズル。前記原料ガス噴出部の前記開口部を含む先端部分が先細り形状となるように形成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズル。前記ガスだまり部又は/及び原料ガス噴出部の内部における原料ガスを加温して、該原料ガスをミスト化させるとともに整流するための加温器を有していることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズル。table.※ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。