plasmas.その結果、0.1〜1.5MHzでは、正イオンによる電極での二次電離(γ)作用が放電維持に主な役割を担っていることがわかった。10MHzを越える周波数では、シ-スとバルクの境界近傍の空間電荷電界によってダブルレ-ヤ-が出現して電子による電離(α)作用が放電維持において主要な役割を担い、1.5〜10MHzではγ作用、α作用両方の作用が見られた。同時に行っている13.56MHzにおけるモデリング結果と(2)の診断結果との比較の結果、電子衝突によってB^2Σ_u^+とC^3II_u,へ励起するそれぞれの励起分子数密度のプロファイルと発光プロファイルからB^2Σ_u^+とC^3II^uの励起分子数密度を推定したものと定性的に一致することがわかった。モデリング結果においても、ダブルレ-ヤ-が出現していた。質量分析法を加えることによって複眼的にN_2RFプラズマの特性を理解することができた。今後この方法による各種プロセスへの診断が可能となり、多くの成果が期待できる。