軟X線顕微鏡のターゲット波長である、いわゆる「水の窓」域(2.332nm~4.368nm)で極めて高反射率が期待できる、酸化物アモルファス多層膜構造の軟X線ミラーを既に開発してきたが、さらに最近になって、酸化物の中でもTiO/NiO多層膜構造を選択することで、50%を超える反射率が得られるばかりでなく、ヘテロエピタキシャル成長による結晶多層膜ミラーが開発できることを発案した。本課題においてはTiO結晶、NiO結晶の原子層成長条件を調べ、その条件をもとに高出力軟X線用TiO/NiO多層膜結晶ミラーを設計、開発し、さらに評価を行うことを目標とする。