おいては、一般に電圧および電流が微小なマイクロエレクトレット機械電気エネルギー変換素子の出力を効率よく整流して蓄積する方式を実現する。そのために、第一にエレクトレット機械電気エネルギー変換素子の出力と半導体整流回路の入力電圧レベルを整合させるために、エレクトレット機械電気エネルギー変換装置EC1、2、3の直列化ならびに、整流回路素子RD1、2およびそれらへの配線経路の極小化と整流回路の集積化による浮遊容量の極小化により高効率エネルギー伝達を実現する。第二に、電流の向きの情報を機械電気エネルギー変換素子から配線SLを介して伝送し、整流素子の制御に使用して更に効率的な整流動作を実現する。整流された電流はエネルギー貯蔵デバイスESに導かれる。環境中の振動から発電する技術の歴史は古く、特筆すべき例としては自動巻き発電ウォッチがある(例えば、非特許文献1参照)。これは1センチメートル程度の規模の振動発電装置であり、扱う電圧電流はそれぞれ1V、1マイクロアンペア程度である。このような電力規模においては周知のダイオードによる半波整流によってコンデンサーへの充電が実用になる。これをもとに複数のコンデンサーを半導体スイッチを使ってつなぎ変えることにより昇圧回路を形成して時計回路を駆動する方式が実用に供されている(例えば、非特許文献2参照)。Transistor)を使用した低損失の整流回路が周知である(例えば、特許文献1参照)。一方で、超低電力デバイス研究が進展する中で(例えば、非特許文献3参照)、低出力であるが超小型の振動発電装置の潜在的需要が発生し、特にエレクトレット機械電気エネルギー変換素子における研究が他のピエゾエレクトリック材料を用いた素子の研究などとともに進展している(例えば、非特許文献4参照)。Systems)技術に代表されるような技術によって製造される微小な発電装置に関する。ES.※ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記「問合せ先」までご連絡ください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。