分布測定の方法について規定する。以上の場合に適用する。この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。基づき,“修正している”ことを示す。次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。規格は,記載の年の版を適用し,その後の改正版(追補を含む。materials(IDT)3量記号及び略語この規格で用いる主な記号及び略語は,次による。央部(ゲート領域)から発生したボロン及びシリコンの二次イオンを質量分離し,検出する。参照)時間に対して連続的に測定する。参照)によって測定する。クレータ深さの測定に用いられる。4.(標準試料)による。5.2深さ軸を校正するための標準物質(標準試料)触針式段差計による深さ校正では,認証標準物質(標準試料)又は認証標準物質(標準試料)にトレーサブルな標準物質(標準試料)を用いるものとする。