して,それを基準線とする。本の線の間隔x(任意単位)を測定する。渉じまの中心線とのシフト量y(xと同じ単位)を測定する。渉じまの数nを数える。+=xynd2λt(1)ここに,λ:トレーサブルな方法で決定された波長の値9結果の表現9.1シリコンに対するボロンのイオン強度比イオン強度比は,それぞれの測定サイクルに対して,式(2)及び式(3)によって計算する。0164:2010Si1010iiiIIJ=(3)9.2分析対象試料のボロンの原子濃度ボロンの原子濃度は,RSFworkを用いて,式(4)∼式(6)によって計算する。必要に応じて,ボロンのバックグラウンド強度を差し引かなければならない。