プラズマエネルギーの利用。プラズマの特性評価を行う際に特に重要となる測定変数としては、電子温度と、エネルギーを与えることで励起状態になっている種類の紫外線・可視光域における発光が挙げられます。(OES)を利用すれば、プラズマの緩和*による発光現象(光学発光)を検出することができます。可視光域、および特に紫外線域における種固有の輝線スペクトルは、光ファイバーを通じて評価電子機器に送信され、専用ソフトウェアで解析されます。プラズマトリートシステムのプロセスモニタリングコンポーネントは、光学モニタリングの原理に基づいて作動します。これにより、プラズマプロセス全体の品質を一定に保つことができるのです。緩和:基底状態へのプラズマの遷移。中国RSS-Feedこのサイトを勧める。