Abstract本研究では、有機トランジスタの新応用、特に伸縮性に優れた大面積圧力センサーシートの作製に取り組むことを主題とする。そこで、セルローズの柔軟性基板上へのマイクロ・ナノスケールの金属パターン転写技術を開発し、セルローズのマイクロ機能デバイスの作製に関することに取り組んでいた。Monolayer)に注目し、大面積においてマイクロからナノメータースケールを同時に形成できるハイブリッドパターン技術の開発や高機能の有機化学物質などのパクーニング技術の開発に向けて研究をしている。当該研究課題の初年度の目標は、100%を超える伸縮率を有する電極の作製であったが、その研究との関連及び適格性が非常に高い、フレキシブルエレクトロニクスの試作として、環境グリーンテクノロジーの材料でもあるセルローズを用いたマイクロデバイスの製作に関する研究に取り組んだ。今年度は、セルローズの柔軟性基板の作製、ポリマーの薄膜コーチング技術の確保、その後、複合セルローズ・ポリマー基板の物理・電気的な特性の計測等を行った。その物理・電気的特性に基づき、セルローズ基板上へ金属パターンを製作、マイクロ静電気アクチュエータの機械的スイッチ構造を試作し、その駆動確認に成功した。最後に、マイクロ・ナノシャドウマスクを利用して、セルローズとポリマーの複合材料のマイクロデバイスへの電極作製と共に、マイクロシャドウマスクを用いたエッチング加工応用も行った。