・モジュラ形フィルタレギュレータ。・フィルタとレギュレータを一体化。・ボウルはワンタッチ着脱。・手動ドレン、オートドレン。・プラスチックボウル、メタルボウル。・空気を安定した圧力に調圧します。・コンパクトなミニタイプです。レギュレータコガネイ液晶、半導体装置プロセスでの制御、ガスの圧力制御に最適。※本シリーズはCADデータ修正中です。修正完了まで今しばらくお待ちください。キャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエアガスの圧率力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能です。空気清浄機と減圧弁をコンパクトに一体化した、経済的な空気清浄機です。・必要圧力をキープするために、安定した圧力調整を行います。ため、装置の取付配管が容易。