発明の概要この機械電気変換素子は、振動電極(15b)と、振動電極(15b)の下面に設けられた振動電極絶縁フィルム(15a)と、振動電極(15b)に対向したエレクトレット層(13)と、エレクトレット層(13)の上面に接合されたエレクトレット絶縁層(14e)と、エレクトレット層(13)の下面に接した背面電極17とを備える。振動電極絶縁フィルム(15a)とエレクトレット絶縁層(14e)との間に10nm~100μmのマイクロギャップ部を有する。携帯電話などにおいては、省スペースのため、マイクロフォンの小型化が求められている。ギターなどの音響機器のピックアップマイクロフォンとして楽器に簡単取り付けできる小型のマイクロフォンが求められている。携帯電話などを防水とするために、小型の防水マイクロフォンの需要がある。ポリカーボネートなどのある種の高分子化合物は、外部から高い電界を加えると、表面に誘導された電荷が、半永久的に保持されるという性質がある。ヘヴィサイトは、このような半永久的に電荷が保持された状態になっている材料を、「エレクトレット」と名付けた。振動層と一体のコイル(ボイスコイル)が磁界の中で動く構造のダイナミックマイクロフォンに対し、エレクトレットコンデンサマイクロフォン(ECM)は、振動層に近接して平行に、エレクトレットが配置されている。振動層が音で振動するとエレクトレットとの距離が変動するので、エレクトレットの帯電状況が変化して音信号を電気の変動として取り出すことができる。この信号は非常に小さいので、マイクロフォンユニットに内蔵された電界効果トランジスタで増幅するようになっている。ECMの性能を向上させるためには、高分子フィルムのエレクトレット量(分極量)を増加させることが必要であるが、コロナ放電を使用して高分子をエレクトレット化する手法では、残留分極量は30μC/m2程度が限界となっている。ECMの電極間の空間は極めて清浄であることが求められるため、ECMの製造はクリーンルームのような清浄な環境で行われる必要がある。強誘電材料は、上記のエレクトレットフィルムより1万倍以上もの残留分極を有する材料が存在する。エレクトレットとして使用するためには、表面に吸着した荷電粒子の影響を取り除く必要がある等の問題がある。マイクロフォンの小型化を鑑み、半導体基板(シリコン基板)に直接マイクロフォンを実装する小型化が試みられている。半導体基板の中央部に、半導体基板を選択的に除去したメンブレン領域を備え、導電膜により、下部電極と引出し配線が設け、この下部電極を、メンブレン領域の内側に設けることにより、寄生容量を抑制し、高性能なECMを実現せんとした提案がある(特許文献1参照。特許文献1に記載のECMでは、シリコン窒化膜、シリコン酸化膜及びシリコン窒化膜の端面は、半導体基板と重なるように設けることにより、振動層の共振周波数特性を制御している。PPやPTFEフィルムを延伸・発泡させ、その後独立気泡内で放電を生じさせてエレクトレットとし、柔軟なマイクロフォンとして、音響機器のピックアップに使用されている。その製造方法に関する。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。