段階は副ナノメーターの精密の目的を移動することができます。これは必要とします段階の中心の明確な光学経路をアプリケーションに有用であることができます。機械化と処理される固体金属棒から成っています。アクチュエーターによって運転されます。デザインはスキャン表面が球である圧電気の管に基づいて古典的なスキャンナーと対照をなして動きの優秀な直線性そして平坦を、提供します。平面平行スキャンナーに壊れやすい圧電気の管によって比較されるより高い機械強さがあります。複数の斧のスキャンナーはデジタル閉ループ制御のための容量性変位センサーが装備されています。クリープの効果を除去します。技術とすべての測定の電子工学がセンサーにできるだけ近くあるなされます。そのようなデザインは低雑音および高速変位制御の原因となります。段階のユニバーサルコントローラを制御するため。