:日立ハイテクノロジーズこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。3月号(2009)トリプルビームを用いた低ダメージのデポジションによる最新アプリケーションを紹介。Control"トリプルビームを用いた低ダメージのデポジションによる最新アプリケーションを紹介。No.2(2008)トリプルビーム装置を用いたTEM試料作製の有効性を半導体デバイスの実例を用いて紹介。技術情報協会FIB、SEM、TEMを用いた断面観察をするための試料作製方法を解説。格子像観察などを行うための高品位TEM試料作製に用いられる最新技術を紹介。シリーズ」を共同で開発した。向上した「XVisionシリーズ」の全容を紹介。電子材料(工業調査会),2月号(2006)SIIナノテク社は高品位のTEM試料を簡便に作製できる、トリプルビーム装置「SMI3000TBシリーズ」の機能・性能に関しての紹介。PUBLISHING軸ぶれの少ない高精度回転ステージを開発した。それを用いて、試料を回転しながらエッチング加工を行うことより、多様な材質の試料を、「旋盤」と同様の方法で加工できることについての報告。