対象物を効率的にプラズマ処理できる液中プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】マイクロ波発生器11と、先端が前記液体22中に配置され、前記マイクロ波発生器から出力されたマイクロ波を前記先端まで伝搬させる導波管12と、前記導波管12の前記先端に配置され、前記マイクロ波を前記液体中に放射することにより、前記液体から気泡を発生させかつ発生した前記気泡中にプラズマを誘起させるスロットアンテナ15と、前記液体22中において前記ワーク21と前記スロットアンテナ15との間の距離を規定するスペーサー17とを備える。従来、液体中でプラズマを発生させ、前記プラズマを用いて前記液体中の対象物を処理する装置が知られている(例えば、特許文献1)。図14は、特許文献1に開示される液中プラズマ処理装置の構成の一例を示す模式図である。液中プラズマ処理装置90は、被処理物質を含む液体を導入可能な容器と、マイクロ波を出力するマイクロ波発生器91と、前記マイクロ波を伝搬させる導波管92と、導波管92の先端部に設けられたマイクロ波出力用のスロットと、導波管92の外部において導波管92の先端部に密接配置された気泡捕捉手段97とを備えている。気泡捕捉手段97は、例えば石英板などのマイクロ波透過部材で構成され、気泡捕捉手段97の前記スロットに対応する位置には補足空間98としての凹部または穴部が形成されている。液中プラズマ処理装置90において、導波管92の先端部に設けられたスロットから前記液体中にマイクロ波を放射することにより、前記液体中に気泡が発生し、前記気泡中に放電によるプラズマが誘起される。このようにして前記気泡中に誘起されたプラズマにより、前記液体中に含まれる非所望物質の分解や、所望物質の合成促進が果たされる。液中プラズマ処理装置90によれば、発生した気泡が気泡捕捉手段97の補足空間98に安定的に補足されるので、気泡捕捉手段97を設けない構成と比べて、前記補足された気泡中で放電プラズマを確実に発生させることができる。その結果、液体に含まれる被処理物質の処理効率に優れた液中プラズマ処理装置が実現される。本発明は、液中プラズマ処理装置および液中プラズマ処理方法に関し、特に液中プラズマを用いてレジストを除去する技術に関する。22.※(有)金沢大学ティ・エル・オーは、金沢大学の研究者の出願特許を産業界へ技術移転することを主目的として、金沢大学の教官の出資により設立された技術移転機関です。ご興味のある方は、下記「問合せ先」へ整理番号と共にご連絡願います。活用のお申し込み・お打合わせ等の段階に入っている場合もございますので、予めご承知おきください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。