FEM.そして、STMの粗動用に尺取り虫方式で駆動させるシステムを試作し、ステージをサブ・マイクロメータの分解能で位置決めできることを確認した。弾性変形を利用したヒンジを用いナノ・メータ領域でのステージを試作し、ノイズと振動等による影響はナノ・メータのオーダにおさまっていることを確認した。最後にナノ制御ステージにおける熱の影響を明らかにするためFEM解析を行い、温度変化を与えた節点の位置がヒンジの最薄部に近い程、変位が大きいことを明らかにした。