数理システムでは、20年以上に渡って、半導体メーカと共にシミュレータの委託開発に邁進して参りました。昨今は、その技術蓄積を基に、半導体/MEMS設計ツールの販売・開発にも注力しております。今回のフェアでは、『半導体設計ツール』『MEMS設計ツール』『新たな取り組み』の3つのテーマに分けて、数理システムのソリューションをご紹介いたします。************************************************◆◆半導体設計ツール◆◆○LSI形状シミュレータ『ParadiseWorld-2』プロセスレシピとマスクから一連のプロセス工程による加工形状を計算。シミュレータ『LiCRSIM』大規模寄生インダクタンスを含む回路を、SPICEと同精度で約数百倍高速に解析可能。○SPICEネットリスト圧縮ツール『Thyme』回路から検証に必要な部分だけを抽出。独自のアルゴリズムにより、高速で精度を極力落とさない抽出を実現。◆◆MEMS設計ツール◆◆○MEMS連成解析ツール『MEMSpice』SPICE3を拡張した解析エンジンにより、MEMS部品を自由に組み合わせた機構部と制御電子回路との一体解析が可能。MEMS』MEMSデバイスの加工形状計算の例、およびその形状を用いた容量抽出の例を紹介いたします。○プロセス逆問題解析ツール最終加工形状からプロセスフローとマスクを導くツール。◆◆新たな取り組み◆◆数理システムでは、日夜、新たな技術開発に関わっております。その中から、以下に示す新しい取り組みをご紹介します。