大気状態で突然の流れが生じた場合などは乱流が生じ、部分的に渦や振動が発生するなどして埃や粉塵が舞い上がる要因となる。そのため、真空チャンバーを排気する場合は真空バルブをゆっくり開き排気速度を調整することで乱流を抑えることができる。気体の圧力が高い領域では気体の流れ気体分子同士の衝突が大半を占めるため粘性により流れる。これに対し圧力が下がり、気体分子が、気体分子同士より真空チャンバーの壁面との衝突が多くなっていく領域を分子流という。粘性流と分子流[編集]平均自由行程は分子密度に反比例する。分子密度はそのまま圧力に比例関係なので圧力に反比例し、圧力が低下すると平均自由行程が長くなる。真空空間の壁(例えば真空チャンバの壁)の間の距離の30倍より大きくなると分子同士の衝突ではなく殆どが分子と壁の衝突になる。region)という。region)という。粘性流領域の気体は連続流体として考えることが出来る。region)といい、分子流の性質と粘性流の性質が複雑に絡み合った振る舞いを示す。衝突頻度[編集]容器の表面に衝突する気体分子の数はそこに存在する気体分子の密度と分子の熱運動の平均速度に比例する。これらは分子流領域での真空排気や薄膜形成時には非常に重要な数値となる。気体が存在すると気体分子同士が運動により動き回り、それらの衝突により当たった対象に気体分子の重さにより衝撃が加わる。気体中に壁があっても同様であり、気体分子は常に壁に衝突しその衝撃により力が加わる。その力を単位面積で割った力が圧力である。「空間内のある点を含む仮想の微小平面を両側の方向から通過する分子によって、単位面積当たり、単位時間に輸送される運動量の面に垂直な成分の総和。空間内に定常的な気体の流れがあるときは、流れの方向に対して面の傾きを規定する。真空では圧力の単位はSI単位系でPa(パスカル)で表されるが、真空の発見の功績から採用されていたTorr(トル)は昔から使用されており、古い本や、昔ながらの真空技術者は今でも使用している。真空排気された真空チャンバーは内側の分子量が減るため外側からの力が大きくなるため常に外側から差分の圧力を受けることになる。Pa以下に排気されるため事実上1気圧の力を受けることになる。コンダクタンス[編集]真空装置では真空チャンバーと真空ポンプを繋ぐ配管が必ず必要になる。この配管は真空排気する場合には抵抗として排気速度を遅らせる要因となる。この配管による抵抗の逆数をコンダクタンスという。したがって、コンダクタンスは気体の流れやすさを表す。