Abstract圧電トランス(PT)を用いた小型プラズマリアクタとその応用について検討している。PTを用いた小型エキシマランプの開発を中心に研究を行った。PTをプラズマリアクタとして用いる際には、PTの定在波振動に伴って生じる表面電位分布を詳細に知ることが重要である。含む実験回路の等価回路を考案し、この中で表面電位絶対値を求めるのに必要な係数を実験により決定した。この係数と位置分解して測定した表面電位相対値から、その絶対値を決定した。同様の電極構造を用いてDBD発生時の放電電力空間分布についても検討した。(JJAP)に論文として掲載された。PTにより構成したエキシマランプをHe/Xe混合ガス中で駆動した際の発光特性について検討した。予備実験として、光電管と光学フィルタ用いたVUV検出を行い、200nm以下のVUV放射を確認した。その後分光測定を行った結果、172nmにピークを持った発光スペクトルが観測され、これがXe_2^*エキシマからのVUV放射であることを確認した。2005)で発表した。現在、これらを論文にまとめ照明学会英文誌に投稿中である。Technology誌に掲載される予定である。