スパッタとはスパッタとは2011年5月7日更新スパッタとは、薄膜を作成する「成膜技術」の一つです。ナノ単位の薄膜の量産に向いた技術で、大面積に対する基板への成膜でも威力を発揮します。原理としては、不活性ガスなどの雰囲気中(アルゴンガスなどで満たされたチャンバー内)でターゲットと呼ばれる材料に高電圧の印加により、放電させます。チャンバー内に充填されているイオンを加速させ、ターゲットに衝突させることで、ターゲット材料を構成する原子をたたき出します。イメージとしては、大きな長方形の板にパチンコ玉を叩きつけて、表面から材料を弾き出すようなものです。この弾き出された原子が基板に到達して、薄膜となっていきます。高エネルギーの原子や分子が衝突することで、このターゲット材から原子を叩き出すのがスパッタの基本原理ですが、これにもいくつか種類があります。主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。このサイトについて研削・研磨に関わる情報から、被削材となる鉄鋼やセラミックス、樹脂に至るまで主として製造業における各分野の職種で必要とされる情報を集め、提供しています。「専門的でわかりにくい」といわれる砥石や工業の世界。わかりやすく役に立つ情報掲載を心がけています。砥石選びや研削研磨でお困りのときに役立てていただければ幸いですが、工業系の分野で「こんな情報がほしい」などのリクエストがありましたら検討致しますのでご連絡ください。研磨や研削だけなく、製造業やものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。