対してビーム径が1mmよりも小径な高輝度単色X線を照射するX線照射手段と、上記測定対象に対向して配置される探針と、上記探針を介してトンネル電流を検出して処理する処理手段と、測定対象と上記探針と上記測定対象に対する高輝度単色X線の入射位置とを相対的に移動するための走査手段とを備える走査型プローブ顕微鏡とを有する。従来のナノ構造評価手法の多くは、限られた個別情報を提供するのみであり、ナノ構造自体については、複数のナノ構造評価手法からそれぞれ得られる個別情報を総合判断することにより解釈されてきた。した従来のナノ構造評価手法のなかで、走査型プローブ顕微鏡は、原子スケールの空間分解能があって実空間情報が得られるため、周期性のない系の観察にも適用することができ、今日におけるナノサイエンスの発展に大きく貢献してきた。走査型プローブ顕微鏡においては、元素を同定することができないという問題点があった。静電容量などの観点から種々提案されているが、元素分析が行われた実際の例は、ごく限られた特殊な材料の測定対象や条件でのみわずかに報告されているに過ぎないものであり、一般的な手法としては存在していないものであった。走査型プローブ顕微鏡に元素選択性を付与するための手法として、X線を用いる手法が提案されている。この手法は、測定対象に対してX線を照射することにより、走査型プローブ顕微鏡の観察下の特定原子種に選択的な内殻励起を起こし、これを観察しようとするものである(非特許文献1参照)。ところが、このX線を用いる手法では励起効率が小さいことから、入射光の光子密度の大幅な増大が望ましいことが指摘されていた。あるシンクロトロン放射光の利用例が報告されている(非特許文献2参照)。ここで、上記した非特許文献1ならびに非特許文献2に開示されている技術においては、ビーム径がφ1~数mm程度のX線を測定対象に照射しているため、測定対象におけるX線の照射領域がφ1~数mm程度の径を備えるような広い領域となるとともに、走査型プローブ顕微鏡の探針を放出電子のコレクターとして用いて励起された特定元素からの放出電子をとらえるようにしていた。このため、非特許文献1ならびに非特許文献2に開示されている技術によれば、広範囲で発生する電子を集めてしまうため、空間分解能は10μmオーダーにとどまっているという問題点があった。した問題点は、こうした従来の技術と不可分な原理的な問題点であり、原子スケールの空間分解能を得ることは極めて困難である。この従来の技術を用いて空間分解能を上げるには、むしろ走査型プローブ顕微鏡の探針の先端の数nmだけを導体にし、それ以外を絶縁コートするなどという、極めて実現が困難である技術を確立するほかはないものであった。Microscope)に代表される探針(マイクロプローブ)を走査する顕微法を用いた走査型プローブ顕微鏡システムに関する。有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。object.※ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記「問合せ先」まで直接お問い合わせください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。