レポートの情報の確認を行うためのものです。それぞれのボタンによる操作について説明します。システムに登録されている全RPIDとレポート名リストを表示します。GetRpNameはRPID選択で選択されているRPIDの名前を取得し表示します。3.は、右側の順位で指定されてGetRpVidいる位置にリンクされている変数IDを取得します。アラーム情報の確認と有効かどうかの設定を行うためのものです。それぞれのボタン操作について説明します。1(0x1)4.は選択されているALIDがGetAlEnabled有効かどうかを確認します。5.は選択されているALIDのGetAlcdALCDを取得します。6.は、選択されているALIDGetAltxのALTXを取得します。7.は、選択されているALIDのGetAlCeOnアラームが発生した時にレポートされるCEIDを取得します。8.は、選択されているALIDのGetAlCeOffアラームが復旧した時にレポートされるCEIDを取得します。(0x1)GetAlNameはALID選択で選択されているALIDの名前を取得し表示します。3.は選択されているALIDSetAlEnabledを有効にします。システムに登録されている全ALIDとAL名リストを表示します。レシピ情報の設定と確認を行うためのものです。それぞれのボタン操作について説明します。新規にレシピを設けるためのボタンです。IDを左の画面で指定してそれをシステム内に生成します。SetRcpInfoはRCPID選択で選択されているRCPIDに対し、レシピパラメータ上に入力されているパラメータを設定します。GetRcpInfoは選択されているRCPIDの情報を取得し表示します。DelRcpInfoは選択されているRCPIDをシステムから削除します。選択されているRCPの状態の設定、取得用です。レシピアクション要求S15F3を送信します。SendS15F5は、レシピのRename要求S15F5を送信します。S15F17スをキーにして情報を参照するものです。インデクス値はIDがシステムに登録されたGetRcpList時点(Allocateされた)にIDに対して発行され12.は、システムに登録されています。全レシピのIDをリスト表示します。RCPIDからインデクス、インデクスからRCPIDを取得するためのボタンです。8.9.SendS15F7は、レシピスペース要求S15F7を送信します。SendS15F9は、レシピステータス要求S15F9を送信します。SendS15F13は、レシピの生成要求S15F13を送信します。選択されているレシピの情報を送ります。コントロールジョブ(CJ)情報の設定と確認を行うためのものです。それぞれのボタン操作について説明します。IDに対するインデクスをキーにして情報を参照するものです。インデクス値はIDがシステムに登録された時点(Allocateされた)にIDに対して発行されます。PRJ0001SetCjInfoはCjID選択で選択されているCJに対して設定情報上に入力されている属性情報を設定します。GetCjInfoは選択されているCJIDの情報を取得し表示します。DelCjInfoは選択されているCJIDをシステムから削除します。選択されて5.いるCJの状態の設定、取得用です。新規にコントロールジョブを設けるためのボタンです。定してそれをシステム内に生成します。7.GetCjListは、システムに登録されている全コントロールジョブのIDをリスト表示します。CJIDからインデクス、インデクスからCJIDを取得するためのボタンです。プロセスジョブ(PRJ)情報の設定と確認を行うためのものです。それぞれのボタン操作について説明します。25j-1SetPrjInfoはPrjID選択で選択されているPRJに対し、設定情報上に入力されている情報を設定します。GetPrjInfoは選択されているPRJIDの情報を取得し表示します。DelPrjInfoは選択されているCJIDをシステムから削除します。選択されて5.いるPRJの状態の設定、取得用です。新規にプロセスジョブを設けるためのボタンです。定してそれをシステム内に生成します。6.GetPrjListは、システムに登録されている全プロセスジョブのIDをリスト表示します。IDに対するインデクスをキーにして情報を参照するものです。インデクス値はIDがシステムに登録された時点(Allocateされた)にIDに対して発行されます。PRJIDからインデクス、インデクスからPRJIDを取得するためのボタンです。キャリア(CAR)情報の設定と確認を行うためのものです。報操作画面のものと同様に行ないます。ここでは、各ボタンの機能だけを間単に説明します。IDに対するインデクスをキーにして情報を参照するものです。インデクス値はIDがシステムに登録された時点(Allocateされた)にIDに対して発行されます。種々の状態、Location,Usageなど情報の設定・取得用です。画面上部の入力情報を設定します。基板(SUBST)情報の設定と確認を行うためのものです。報操作画面のものと同様に行ないます。ここでは、各ボタンの機能だけを間単に説明します。IDに対するインデクスをキーにして情報を参照するものです。インデクス値はIDがシステムに登録された時点(Allocateされた)にIDに対して発行されます。画面上部入力情報を設定します。種々の状態、Location,Usageなど情報の設定・取得用です。右上のLocHistoryのブロックでは、基板の現在位置と入、出時刻を設定、追加、参照するためのボタンです。本画面は、装置側が受信する1次メッセージに対して応答メッセージを相手に返しますが、そのときに返すAckアイテムの値を故意にエラーを示す値を返すようにするための画面です。以下のように操作します。Ackの値をエラーにしたいメッセージのコンボボックスの選択を変えて行います。その後、設定ボタンをクリックします。選択し、設定ボタンをクリックします。ログモニターの通信ログを下に示します。Processing)のシミュレーションをPLCシミュレータを使って行います。PLCシミュレータのシーケンスプログラムを開始させた後、本画面のボタンのクリックPLC開始でWP処理を開始します。以降、処理の進行はHOSTとのHSMS通信、PLCシミュレータとの連携で自動的に処理が進行します。処理が終ったら、搬入したポートから搬出されて1サイクルの終了です。ボタンをクリックし、次に搬出終了した時点で、終了させることができます。処理はつぎのように進行します。1上の処理状態の欄に状態が表示されます。合などボタンの状態が変化します。3ポートから先、WORKまでのキャリア(Wafer)の移動状態も表示されます。S1F15,S1F17,S3F25,S3F27受信によってコントロールモードなどの表示が変わります。ホストから受信するS3F17,S15F13,S16F11,S14F9,S14F11のメッセージはメイン画面にログ表示されます。PLCシミュレータ起動と操作PLCシミュレータの開始\dshgemlib\dshplcsim\dshplcsim.exeを起動すると下の画面が表示されます。I/O操作開始ボタンクリックでI/O操作を開始します。通信設定メニュータブ-で接続PCのIPを設定します。下の画面がポップアップされるのでIPを設定します。ログ画面PLCシミュレータ操作SEQプログラムI/O操作開始ボタンによってこの画面が表示されます。ボタンをクリックすると右下のシーケンスプログラム画面が表示されます。開く開きなおすボタンをクリックし、seq_300.prgファイルを開きます。PLCシミュレータ操作/シーケンス開始Topに戻る実行の順にボタンをクリックして、シーケンスを先頭から実行します。この後、装置デモプログラムからの信号を待機します。装置との接続が済むと矢印のます。