e-gun)とは、固体中の電子を高熱や高電界により空間に放出させ、これを電界により加速すると共に、電子レンズにより電子線をビーム状に収束させて照射する装置。種類[編集]熱電子放出型[編集]熱電子放出型では、固体中の電子を空間に取り出す電子源(エミッタもしくはカソード)には、熱エネルギにより電子放出を行う。安価に安定な電子源が得やすいため、ブラウン管などに広く用いられている。熱電子源としては、タングステンや六ホウ化ランタン(LaB6)などのフィラメントが用いられる。熱電子を放出しやすくするためにショットキー効果を使ったものが電子顕微鏡や電子線描画装置などに用いられている。Emission)では、高電界により固体表面近傍のポテンシャルバリアを薄くすることにより量子力学的トンネル効果により空間に電子を取り出す。電子線描画装置などに用いられている。加熱しているためアウトガスの吸着が少なく、長寿命で安定的な電子線放出が行える。(日時は個人設定で未設定ならばUTC)。表示-継承ライセンスの下で利用可能です。追加の条件が適用される場合があります。詳細は利用規約を参照してください。開発者Cookieに関する声明モバイルビュ。