装置用FFU機能と特長、また風量で最適な答えを探せる装置用FFUは製造装置に付帯するため、製造装置の一部として様々な機能が求められます。当社の装置用FFUはお客様の様々な要望を具現化します。全シリーズDCブラシレスモータを採用、モータの可変速により最適風量で省エネ運転が可能。海外への輸出対応のため各種規格に準拠。異常信号出力ケーブル(オプション)を使用すると故障信号の出力が可能です。max.254台(4ポート)識別30405061122F-Cube-N-12230D※F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。量[kg]風量は調整ダイヤルにより連続的に調整が可能。運転状態を表示ランプで確認できます。F-Cube-N-122HWLFH-61H□Field一般コンセント電源(1φ100V)で運転でき、面倒な電気工事は一切必要ありません。運転はコンセントから電源を供給し、スイッチを入れるだけという簡単(オプションで1φ200VまたはDC24Vも可能)さです。付なので、据付時にフィルタを傷つける心配がありません。オプションを複数選択時は並記ください。F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。高さ230mmを実現しました。Fieldケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタは、短時間で容易に交換できる鯛焼き構造を採用しています。EU圏への輸出を考慮してRoHS規格(準拠)に対応。生産装置の規格であるSEMIにも適合。拡散炉などの高温環境(50°C)での使用に耐えうる設計。CAN超薄型タイプFFU監視システムFMC100/200高静圧ファンの採用により高さ105∼120mmの超薄型を実現しました。r:ボロンフリーフィルタ(PTFE)シール材:低シロキ酸タイプ。