FT-IR吸収分光法を新たに用いて反応解析を行った。熱分解反応の進行度を調べた。キャリヤーガスであるN_2の発光スペクトルの回転構造のシミュレーションから求めた回転温度を気相の温度として、気相におけるCVD原料分子の熱分解反応の解析に用いた。膜特性との間に相関があることを見出した。その他に、各金属イオンの発光強度の酸化ガス流量依存性からCVD原料分子の気相中での酸化反応を調べた。センサーヘッドをチャンバー内で動かすことにより発光強度の空間分布が測定できることから、原料ガスの空間分布を見積もり、膜厚・膜特性のウエハ面内分布との相関関係を調べた。次に、FT-IR吸収分光法により気相中のCVD原料分子由来の振動スペクトルの基盤温度依存性を測定した。よる解析に対して相補的に行った。