-2000CJEMの高圧に150V-0Vの変調電圧を定量させて256ステップ毎の高圧変調を100Hzでドライブさせることに成功した。この方式の優れている点は(1)高圧中心軸調整が出来るので変調をかけているときの試料像の位置づれが防げること、(2)高速変調が可能なので実〓問処理が実現出来る、ということである。次の2点を中心に原子レベルの像観察を行った。(1)〓微粒子の原子レベル像観察約60A゚〓の〓の微粒子の無収差像観察に成功した。能動型正像処理により・位相像と〓中像を分〓して観察した。位相像は表面の原子像の正確な観察が可能になった結果、第1層(200面)が約10%緩和していることを見出した。これに対て(111)面は緩和が殆んで見られているという意味ある結果を得た。得られることを確認した。高速変調が可能なことより、実〓問処理の実現に見直しが得られることは大きな成果である。現在、傾斜照明法をとり入れた色収差除去について検討を進めておりS/Nの低下の欠点があるものの原理的に無収差像観察が出来ることを確かめており,球面収差と色収差の両面の除去が実現出来る見直しを得ている。1A゚の壁を破る〓〓る一歩をふみ出したと確信している。