Início > Produtos > Nanotecnologia > Depósito de Capas atómicas (ALD) > TFS 200R: Investigação ALD espacial
Pla primeira vez na história da ALD, o sistema TFS 200R do nosso parceiro tecnológico Beneq permite a investigação do comportamento dinâmico de diversas composições químicas precursoras, a simulação da aptidão do processo e a avaliação do desempenho da película em aplicações ALD.