Câmara Pre-Limpa Nova dos Lançamentos Aplicados dos Materiais para Dispositivos de Lógica de Sub-32nm
Published on March 30, 2010 at 2:40 AM
Aplicado Materiais, Inc. anunciaram hoje temperatura primeiramente integrada da indústria do semicondutor a baixa pre-limpa para aplicações epitaxial (do epi) que está disponível em seu sistema Aplicado líder de mercado de Centura® RP Epi.
Aplicado introduziu o pre-limpo de baixa temperatura primeiramente integrado da indústria do semicondutor para pedidos do epi para seu sistema Aplicado de Centura RP Epi.
A câmara pre-limpa nova, que caracteriza tecnologia provada Aplicada de Siconi™, entrega o desempenho crítico do processo necessário para escalar características sensíveis, tensão-projetadas em dispositivos de lógica de sub-32nm. Além, desde que os processos pre-limpos e do epi são integrados na mesma plataforma do vácuo, o tempo de fila é eliminado e a contaminação interfacial é reduzida por mais do que um ordem de grandeza sobre os sistemas autônomos, criando superfícies pristine do silicone para o crescimento de cristal do epi defeito-livre.
A tecnologia pre-limpa Convencional exige um limpo molhado seguido por um 800°C coze. Em 32nm avançado e abaixo dos dispositivos, o limpo molhado agressivo pode corrmoer estruturas do circuito, quando a alta temperatura cozer pode significativamente enfraquecer níveis existentes da tensão. Ao contrário, a química de limpeza plasma-baseada patenteada da tecnologia de Siconi fornece a remoção delicada, contudo do altamente eficaz, óxido em menos do que 130°C, a tensão óptima de manutenção e a preservação de características delicadas.
"Aplicou-se construiu sua liderança de longa data no depósito do epi continuamente estendendo a tecnologia com novo, capacidades inovativas," disse Steve Ghanayem, vice-presidente e director geral de unidade de negócios Dianteira Aplicada dos Produtos finais. "Até aqui, os fabricantes de chips da vanguarda foram incapazes de realizar inteiramente os ganhos da velocidade do transistor fornecidos por camadas múltiplas do epi. O Siconi integrado pre-limpo resolve este problema, permitindo clientes de derivar o benefício completo da engenharia da tensão para fabricar seus dispositivos do desempenho o mais alto."
Projetado para o uso eficaz da energia, o processo integrado de Siconi reduz significativamente a electricidade e o consumo de água. Eliminando a necessidade para uma alta temperatura coza, o Siconi pre-limpo pode salvar o equivalente de 36,000kWh excedente da energia ou das 40.000 libras de emissões de CO2 anualmente.
A tecnologia pre-limpa integrada de Siconi foi recebida entusiàstica por fabricantes de chips e está no uso em fabricantes múltiplos do dispositivo no mundo inteiro. A base instalada de sistemas de Centura RP Epi pode ser promovida com a tecnologia de Siconi através de um pacote eficaz na redução de custos da elevação.