Sistema de polimento por feixe de íons ArBlade 5000 - dpUNION
O mais avançado sistema de polimento por feixe de íons para a produção de seções transversais ou amostras planas de alta qualidade para microscopia eletrônica.
Taxa de polimento de seção transversal: 1 mm/hora
O ArBlade 5000 é equipado com um canhão de íons de Ar de polimento rápido com uma taxa de polimento duas vezes mais alta para desempenho de ponta, reduzindo drasticamente o tempo de processamento para a preparação da seção transversal.
Larguras da seção transversal de até 8 mm
Para polimentos de grandes áreas, como aplicações de dispositivos eletrônicos, um design revolucionário de seção transversal foi desenvolvido para construção de áreas mais amplas.
Modelo híbrido: configuração de polimento duplo disponível
O novo sistema de polimento por feixe de íons é equipado com modos de seção transversal e polimento de superfície para as mais complexas necessidades de aplicação.
Equipado com vários suportes, o sistema ArBlade 5000 acomoda uma ampla gama de aplicações.
Polimento de seção transversal
Usado para produzir seções transversais mais largas e não distorcidas, sem aplicar tensão mecânica à amostra.
Usado para remover artefatos da camada superficial e polimento final após técnicas tradicionais de polimento mecânico.
As versões criogênicas do ArBlade 5000 fornecem resfriamento ativo da seção transversal durante o processamento da amostra. Um dewar de nitrogênio líquido conectado ao estágio de seção transversal remove efetivamente o calor induzido durante o polimento por feixe de íons da máscara de proteção e da amostra.
A unidade digital de controle de temperatura criogênica (CTC) permite que os operadores definam uma temperatura de resfriamento desejada, colocando um aquecedor e um sensor diretamente na máscara de blindagem de seção transversal para que a temperatura de processo desejada possa ser mantida com precisão.
Na conclusão do polimento criogênico, a amostra é suavemente aquecida até temperatura ambiente para evitar a formação de gelo ou condensação de água na superfície da amostra.
O resfriamento da amostra pode suportar o polimento de seção transversal sem danos em amostras altamente sensíveis à temperatura, como polímeros ou metais macios. No entanto, mesmo com o resfriamento ativo aplicado, é importante escolher os parâmetros de análise adequados para obter os melhores resultados. Isso é importante para amostras com baixa condutividade térmica porque o calor gerado no ponto de impacto do feixe de íons deve primeiro ser conduzido de forma eficaz para outras regiões da amostra. O ArBlade 5000 com CTC fornece altas correntes de feixe de íons, mesmo em voltagens mais baixas e é, portanto, ideal para esta e outras técnicas.
Gás usado Gás Ar (argônio)
Tensão de aceleração 0 a 8 kV
Fresagem de seção transversal
Taxa máxima de fresamento (Material: Si) ≥ 1 mm / h * 1
Largura máxima de fresagem 8 mm (com o uso de um suporte de fresagem de seção transversal de área ampla)
Tamanho máximo da amostra 20 (L) × 12 (P) × 7 (A) mm
Faixa móvel de amostra X ± 7 mm, Y 0 a +3 mm
Irradiação intermitente de feixe de íons Função padrão
Ângulo de balanço ± 15 °, ± 30 °, ± 40 °
Área de moagem φ32 mm
Tamanho máximo da amostra φ50 × 25 (H) mm
Faixa móvel de amostra X 0 a +5 mm
Velocidade de rotação 1 rpm, 25 rpm
Inclinar 0 a 90 °
O Si se projeta 100 µm da borda da máscara.
Controle de temperatura de resfriamento * 2 Resfriamento indireto por LN2, Faixa de temperatura definida: 0 a -100 ° C
Máscara de tolerância de feixe superior É duas vezes mais difícil do que a máscara padrão.
Unidade de microscópio estéreo com zoom 15 a 100 ampliações, tipo binocular, tipo trinocular (corresponde à câmera CCD)