Wie kann man störende Schwingungen bei Mikroskopen in der optischen Messtechnik abschirmen?
How can interfering vibrations in microscopes be shielded in optical metrology?
Oft stellen die verschiedenen technischen Geräte eines Experiments große Störfaktoren dar: etwa mechanische Pumpen zum Vakuumaufbau oder die Wärmeentwicklung und elektromagnetische Abstrahlung von Netz- und Kontrollgeräten. Bei herkömmlichen Experimenten reicht es aus, einzelne Parameter abzuschirmen, zum Beispiel die Temperatur. Mit den messtechnischen Entwicklungen in der Nanotechnologie gibt es aber Experimente, die empfindlich gegenüber mehreren oder sämtlichen fünf Störgrößen sind. Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Vibrationen, Schall, elektromagnetische Felder sollten daher gleichzeitig abgeschirmt werden. Diese Herausforderungen können nur bei der Betrachtung des Gesamtsystems erfolgreich gemeistert werden. Dieses Anwendungsbeispiel aus der Praxis informiert über die optimale Schwingungsisolierung für optische Messtechnik.
The different technical devices used in an experiment often represent large interference factors: for example, mechanical pumps for building up a vacuum or the generated heat and electromagnetic radiation from network and control devices. Conventional experiments only require that individual parameters be shielded, for example the temperature. However, with the measurement developments in nanotechnology, we now have experiments that are sensitive to multiple or all of the interference factors. Temperature, humidity, vibrations, sound, electromagnetic fields should therefore be shielded all at once. These challenges can be mastered successfully only by considering the complete system. This practical application example provides information about the optimal vibration isolation for optical measuring technology.